[实用新型]自动上下料的UV解胶机有效
| 申请号： | 202020288274.6 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN211480000U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 朱小明;陈瑞华;朱军辉;汝长海 | 申请（专利权）人： | 苏州微赛智能科技有限公司;江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 苏州见山知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32421 | 代理人： | 袁丽花 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自动 上下 uv 解胶机 | ||
1.一种自动上下料的UV解胶机，其特征在于，包括料盒、支撑机构、UV光源组件和取送料机构，所述支撑机构、UV光源组件均设置在所述料盒的出料口附近，所述支撑机构位于所述UV光源组件的上方或下方，所述取送料机构用于将所述料盒中待解胶的料环送至所述支撑机构或将通过所述UV光源组件解胶后的料环送至所述料盒。
2.根据权利要求1所述的自动上下料的UV解胶机，其特征在于，所述支撑机构包括间隔相对设置的两个导轨，每个所述导轨包括导轨本体、设置在所述导轨本体上的导向槽。
3.根据权利要求2所述的自动上下料的UV解胶机，其特征在于，所述导向槽的截面呈L形、U形或T形。
4.根据权利要求1所述的自动上下料的UV解胶机，其特征在于，所述支撑机构包括支撑板，所述支撑板的上端设置有限位槽，所述限位槽贯穿所述支撑板。
5.根据权利要求4所述的自动上下料的UV解胶机，其特征在于，所述支撑板的下端设置有透光孔，所述透光孔与所述限位槽相连通。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的自动上下料的UV解胶机，其特征在于，所述取送料机构包括执行机构、用于带动所述执行机构平移的驱动机构，所述执行机构为夹爪机构、吸盘机构或推拉杆机构。
7.根据权利要求6所述的自动上下料的UV解胶机，其特征在于，所述驱动机构为气动驱动机构或电动驱动机构。
8.根据权利要求7所述的自动上下料的UV解胶机，其特征在于，所述料盒安装在一台板上，所述台板连接有升降机构。
9.根据权利要求7所述的自动上下料的UV解胶机，其特征在于，所述料盒固定不动，所述支撑机构、UV光源组件和取送料机构同步升降运动。
10.根据权利要求8所述的自动上下料的UV解胶机，其特征在于，所述台板上设置有用于定位所述料盒的至少两个卡块或至少两个定位销。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
