[实用新型]一种用于探针平台的聚焦装置

权利要求书

1.一种用于探针平台的聚焦装置，包括平台底座(1)、安装有目镜的显微镜(2)、探针臂(3)和探针(4)，所述探针臂(3)底部活动连接在所述平台底座(1)上，所述探针(4)固定在所述探针臂(3)顶端，且所述探针(4)位于所述平台底座(1)上方；所述显微镜(2)位于所述探针(4)的上方；其特征在于：所述显微镜(2)上设有自动聚焦装置(5)；所述平台底座(1)上设有自动载物平台(6)，且该自动载物平台(6)位于所述探针(4)下方；

所述自动聚焦装置(5)包括红外线传感器(501)和调焦装置(502)，所述调焦装置(502)位于所述显微镜(2)的目镜的下方；

所述平台底座(1)上开设有滑动槽(7)，所述自动载物平台(6)滑动设置在所述滑动槽(7)内。

2.根据权利要求1所述的一种用于探针平台的聚焦装置，其特征在于：所述自动载物平台(6)包括第一伸缩杆(601)、载物台(602)和第一电机(603)，所述第一电机与所述滑动槽(7)滑动连接，所述载物台(602)通过所述第一伸缩杆(601)支撑在所述第一电机上。

3.根据权利要求2所述的一种用于探针平台的聚焦装置，其特征在于：所述平台底座(1)上开设有呈“十”字形的滑动槽(7)，在所述平台底座(1)上分别安装有横向电机和纵向电机用于控制所述第一电机沿横向和纵向移动。

4.根据权利要求1所述的一种用于探针平台的聚焦装置，其特征在于：所述平台底座(1)上设有聚焦支架，所述调焦装置(502)滑动连接在该聚焦支架上。