[实用新型]一种用于探针平台的聚焦装置

说明书

本实用新型公开了一种用于探针平台的聚焦装置，包括平台底座、安装有目镜的显微镜、探针臂和探针，所述探针臂底部活动连接在所述平台底座上，所述探针固定在所述探针臂顶端，且所述探针位于所述平台底座上方；所述显微镜位于所述探针的上方；所述显微镜上设有自动聚焦装置；所述平台底座上设有自动载物平台，且该自动载物平台位于所述探针下方；所述自动聚焦装置包括红外线传感器和调焦装置，所述调焦装置位于所述显微镜的目镜的下方；所述平台底座上开设有滑动槽，所述自动载物平台滑动设置在所述滑动槽内。

技术领域

本实用新型设计一种聚焦装置，具体涉及一种用于探针平台的聚焦装置。

背景技术

探针平台主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。目前的检测平台是通过显微镜和探针对平面物品、零部件进行测试，针对不同的待检测物体时，检测平台在使用时需要改变显微镜镜头与待测物体之间的距离，调整焦距，进行聚焦，但目前直接手调显微镜高度虽然可行，但聚集精度低、景深调节范围小，并且在调整过程中会产生震动和抖动现象，影响聚焦的精度。

基于此，特提出了一种用于探针平台的聚焦装置。

实用新型内容

针对上述现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是：提供了一种用于探针平台的聚焦装置解决现有的调整过程中会产生震动和抖动现象，影响聚焦的精度问题，结构简单，适用性强。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下的技术方案：一种用于探针平台的聚焦装置，包括平台底座、安装有目镜的显微镜、探针臂和探针，所述探针臂底部活动连接在所述平台底座上，所述探针固定在所述探针臂顶端，且所述探针位于所述平台底座上方；所述显微镜位于所述探针的上方；其关键在于：所述显微镜上设有自动聚焦装置；所述平台底座上设有自动载物平台，且该自动载物平台位于所述探针下方；所述自动聚焦装置包括红外线传感器和调焦装置，所述调焦装置位于所述显微镜的目镜的下方；所述平台底座上开设有滑动槽，所述自动载物平台滑动设置在所述滑动槽内。

优选的，所述自动载物平台包括第一伸缩杆、载物台和第一电机，所述第一电机与所述滑动槽滑动连接，所述载物台通过所述第一伸缩杆支撑在所述第一电机上。

优选的，所述平台底座上开设有呈“十”字形的滑动槽，在所述平台底座上分别安装有横向电机和纵向电机用于控制所述第一电机沿横向和纵向移动。

优选的，所述平台底座上设有聚焦支架，所述调焦装置滑动连接在该聚焦支架上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：通过电机带动自动载物台在滑动槽内进行横向、纵向移动，红外线传感器对待测物体进行定位，调焦装置调整焦距后进行检测，提高聚集精度、扩大景深调节范围，并且在调整过程中避免产生震动和抖动现象。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为图1中自动载物台的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。