[实用新型]小型简易光学间距非接触低相干测量装置

权利要求书

1.一种小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，包括箱体、计算机、测量臂以及设置在所述箱体内部的光纤干涉探测盒、扫频光源、指示光源和参考臂；

所述光纤干涉探测盒内设置有光纤耦合器、环形器、波分复用器和平衡探测器；

所述参考臂包括第一准直器、反射镜以及用于安装所述反射镜且可对所述反射镜的位置进行调节的反射镜安装座，所述测量臂包括第二准直器和待测样品；

所述扫频光源发出的光进入所述环形器的第一接口，再由所述环形器的第二接口输出至所述波分复用器，与所述指示光源输入至所述波分复用器的光复合；所述波分复用器输出的光进入所述光纤耦合器后被分为两束，分别进入所述测量臂和参考臂；所述参考臂的返回光和测量臂的返回光再进入所述光纤耦合器发生干涉后再分成两束，一束进入所述平衡探测器，另一束经过所述波分复用器后进入所述环形器的第二接口，再由所述环形器的第三接口输出至所述平衡探测器；所述平衡探测器的输出信号传输至所述计算机。

2.根据权利要求1所述的小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，所述扫频光源设置在所述箱体的底板上，所述箱体的底板上还设置有支架，所述光纤干涉探测盒和参考臂均设置在所述支架上。

3.根据权利要求2所述的小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，所述箱体的前侧板外壁上设置有测量头，所述测量头包括外罩和设置在所述外罩内的所述第二准直器；

所述测量头的下方还设置有用于装载样品的样品架。

4.根据权利要求1所述的小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，所述反射镜安装座包括底座、可转动设置在所述底座上的反射镜筒座以及可转动设置在所述反射镜筒座内的反射镜筒，所述反射镜设置在所述反射镜筒内；

所述反射镜筒座可带动所述反射镜相对所述底座绕Z轴转动，所述反射镜筒可带动所述反射镜相对所述反射镜筒座绕Y轴转动。

5.根据权利要求4所述的小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，所述底座的中部沿Z轴开设有轴孔，所述反射镜筒座底部连接有可转动设置在所述轴孔内的转轴；

所述底座的侧部开设有与所述轴孔连通的螺纹锁紧孔，所述螺纹锁紧孔内配合设置有锁紧螺钉。

6.根据权利要求5所述的小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，所述反射镜筒座中部沿X轴开设有用于安装所述反射镜筒的安装通孔；

所述转轴内部沿Z轴贯穿开设有弹簧孔，所述弹簧孔的底部固定设置有弹簧压圈，所述弹簧孔的顶部设置有顶球，所述顶球和弹簧压圈之间设置有弹簧；

所述反射镜筒座底部开设有连通所述弹簧孔和安装通孔的顶球孔，所述顶球的上部可伸出所述顶球孔以与设置在所述安装通孔内的反射镜筒的底部顶压；

所述顶球的直径大于所述顶球孔的直径。

7.根据权利要求6所述的小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，所述反射镜筒座的上端开设有贯通至所述安装通孔的两个沿X轴间隔设置的调节螺纹孔，所述调节螺纹孔内配合设置有内端与所述反射镜筒顶压的调节螺丝；

所述反射镜筒座的两侧开设有关于Z轴对称的两固定螺纹孔，所述固定螺纹孔内配合设置有内端与所述反射镜筒顶压的固定螺丝。

8.根据权利要求7所述的小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，所述反射镜筒内还设置有用于顶压所述反射镜的反射镜压圈。

9.根据权利要求6所述的小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，所述反射镜筒座的底面处于所述转轴外周的位置设置有环形滑圈，所述底座的上端面开设有与所述环形滑圈配合的环形滑槽，所述环形滑圈可在所述环形滑槽内配合转动。

10.根据权利要求9所述的小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，所述环形滑圈的截面为圆形或椭圆形，且其内部中空；

所述转轴的外周开设有用于供所述锁紧螺钉的内端插入的环形锁紧槽；所述环形锁紧槽的内壁上部为水平面，其内壁下部具有弧形倾斜面。