[实用新型]小型简易光学间距非接触低相干测量装置

说明书

本实用新型公开了一种小型简易光学间距非接触低相干测量装置，其特征在于，包括箱体、计算机、测量臂以及设置在所述箱体内部的光纤干涉探测盒、扫频光源、指示光源和参考臂；所述光纤干涉探测盒内设置有光纤耦合器、环形器、波分复用器和平衡探测器；所述参考臂包括第一准直器、反射镜以及用于安装所述反射镜且可对所述反射镜的位置进行调节的反射镜安装座，所述测量臂包括第二准直器和待测样品；本实用新型可用于小型光学表面间距非接触测量，具有结构简单紧凑、易于调整组装、便于移动、测量无损伤等优点；本实用新型通过反射镜安装座，能实现反射镜的位置的方便调节，以保证从反射镜返回的光线能再次进入第一准直器，方便装置的光路调节。

技术领域

本实用新型涉及光学工程技术领域，特别涉及一种小型简易光学间距非接触低相干测量装置。

背景技术

光学系统中光学表面间距决定了各个镜片的相对位置，其误差严重地影响光学系统的成像质量，随着光学技术的不断进步，成像质量要求越来越高，对光学表面中心间距的测量要求也越来越高，传统的测量方法一般是接触式测量，不仅容易破坏精密镜片的表面，并且只能实现单独镜片的测量，无法实现整个系统测量。采用光学低相干测量技术的测量装置，可以很好的解决这两个问题。

例如中国专利2018104473568公开了一种光学表面间距非接触式测量装置和方法，其可实现光学表面间距的非接触式测量，当该装置器件繁多结构复杂，不易于实现装置的小型集成化。所以现在需要一种更可靠的方案。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种小型简易光学间距非接触低相干测量装置。

本实用新型采用的技术方案是：一种小型简易光学间距非接触低相干测量装置，包括箱体、计算机、测量臂以及设置在所述箱体内部的光纤干涉探测盒、扫频光源、指示光源和参考臂；

所述光纤干涉探测盒内设置有光纤耦合器、环形器、波分复用器和平衡探测器；

所述参考臂包括第一准直器、反射镜以及用于安装所述反射镜且可对所述反射镜的位置进行调节的反射镜安装座，所述测量臂包括第二准直器和待测样品；

所述扫频光源发出的光进入所述环形器的第一接口，再由所述环形器的第二接口输出至所述波分复用器，与所述指示光源输入至所述波分复用器的光复合；所述波分复用器输出的光进入所述光纤耦合器后被分为两束，分别进入所述测量臂和参考臂；所述参考臂的返回光和测量臂的返回光再进入所述光纤耦合器发生干涉后再分成两束，一束进入所述平衡探测器，另一束经过所述波分复用器后进入所述环形器的第二接口，再由所述环形器的第三接口输出至所述平衡探测器；所述平衡探测器的输出信号传输至所述计算机。

优选的是，所述扫频光源设置在所述箱体的底板上，所述箱体的底板上还设置有支架，所述光纤干涉探测盒和参考臂均设置在所述支架上。

优选的是，所述箱体的前侧板外壁上设置有测量头，所述测量头包括外罩和设置在所述外罩内的所述第二准直器；

所述测量头的下方还设置有用于装载样品的样品架。

优选的是，所述反射镜安装座包括底座、可转动设置在所述底座上的反射镜筒座以及可转动设置在所述反射镜筒座内的反射镜筒，所述反射镜设置在所述反射镜筒内；

所述反射镜筒座可带动所述反射镜相对所述底座绕Z轴转动，所述反射镜筒可带动所述反射镜相对所述反射镜筒座绕Y轴转动。

优选的是，所述底座的中部沿Z轴开设有轴孔，所述反射镜筒座底部连接有可转动设置在所述轴孔内的转轴；

所述底座的侧部开设有与所述轴孔连通的螺纹锁紧孔，所述螺纹锁紧孔内配合设置有锁紧螺钉。

优选的是，所述反射镜筒座中部沿X轴开设有用于安装所述反射镜筒的安装通孔；