[实用新型]一种超高真空腔体快速液氮冷却组件

权利要求书

1.一种超高真空腔体快速液氮冷却组件,包括有液氮输送管（1），其特征在于：所述液氮输送管（1）外套装有抽真空管（2），所述抽真空管（2）的下端部外侧套装有液氮保护管一（3），所述液氮保护管一（3）的上端部安装有用于连接到腔体或超过真空装置上的连接法兰（4），所述液氮保护管一（3）通过连接法兰（4）连接后位于腔体或超过真空装置外的液氮保护管二（5）上设有抽真空支路（6），所述抽真空支路（6）的进气端口与抽真空管（2）连接，所述抽真空支路（6）上安装有抽真空阀（7），所述抽真空管（2）上方的液氮输送管位于液氮保护管三（8）内，且液氮输送管（1）的端部伸出液氮保护管三（8）且设有进液氮接头，所述液氮输送管（1）伸出端与液氮保护管三（8）端部之间通过密封端盖密封配合。

2.根据权利要求1所述的超高真空腔体快速液氮冷却组件，其特征在于：所述的液氮保护管一（3）和液氮保护管二（5）之间通过法兰与连接法兰（4）固定连接，所述液氮保护管二（5）和液氮保护管三（8）之间通过法兰连接，且无氧铜卡环（9）和密封圈密封压装。

3.根据权利要求2所述的超高真空腔体快速液氮冷却组件，其特征在于：所述的无氧铜卡环（9）上方的液氮保护管三上安装有安全阀（10）和温度传感器。

4.根据权利要求1所述的超高真空腔体快速液氮冷却组件，其特征在于：所述的液氮保护管一（3）采用无氧铜材质制成，其底端部设有用于与待冷却的部件样连接固定的螺纹。

5.根据权利要求1所述的超高真空腔体快速液氮冷却组件，其特征在于：所述的液氮输送管（1）和抽真空管（2）伸入至液氮保护管一（3）的底端部，且与底端端部间隔一定距离。