[实用新型]一种超高真空腔体快速液氮冷却组件

说明书

本实用新型公开了一种超高真空腔体快速液氮冷却组件，包括有液氮输送管，液氮输送管外套装有抽真空管，抽真空管的下端部外侧套装有液氮保护管一，液氮保护管一的上端部安装有用于连接到腔体或超过真空装置上的连接法兰，液氮保护管一通过连接法兰连接后位于腔体或超过真空装置外的液氮保护管二上设有抽真空支路，抽真空支路的进气端口与抽真空管连接，抽真空支路上安装有抽真空阀，抽真空管上方的液氮输送管位于液氮保护管三内，且液氮输送管的端部伸出液氮保护管三且设有进液氮接头。本实用新型实现了对内置液氮输送管保护的作用，而且通过液氮保护管一的结构，可有效缩短抽真空的空间和效率，从而保证冷却效果，避免出现漏气现象。

技术领域：

本实用新型涉及液氮冷却结构领域，主要涉及一种超高真空腔体快速液氮冷却组件。

背景技术：

目前，国内真空冷却技术主要存在的问题：热胀冷缩对冷却件的材质要求较高；以及在真空领域中很多液氮冷却出现了漏气等问题，从而使得真空度保持不住，其中根本的原因在于对于材质的选择以及设计加工工艺，比如：加工液氮装配要求超洁净间避免污染，而且安装中人员需要尽可能在无尘室中带手套进行操作，虽然对其加工工艺进行了改进有了一定的确保，但仍然会出现漏气现象，要想从根本上解决，因此需要对冷却组件的材质以及设计结构进行改进。

实用新型内容：

本实用新型目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种超高真空腔体快速液氮冷却组件，结构设计合理，可有效缩短抽真空的空间和效率，从而保证冷却效果，避免出现漏气现象。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种超高真空腔体快速液氮冷却组件,包括有液氮输送管，其特征在于：所述液氮输送管外套装有抽真空管，所述抽真空管的下端部外侧套装有液氮保护管一，所述液氮保护管一的上端部安装有用于连接到腔体或超过真空装置上的连接法兰，所述液氮保护管一通过连接法兰连接后位于腔体或超过真空装置外的液氮保护管二上设有抽真空支路，所述抽真空支路的进气端口与抽真空管连接，所述抽真空支路上安装有抽真空阀，所述抽真空管上方的液氮输送管位于液氮保护管三内，且液氮输送管的端部伸出液氮保护管三且设有进液氮接头，所述液氮输送管伸出端与液氮保护管三端部之间通过密封端盖密封配合。

所述的液氮保护管一和液氮保护管二之间通过法兰与连接法兰固定连接，所述液氮保护管二和液氮保护管三之间通过法兰连接，且无氧铜卡环和密封圈密封压装。

所述的无氧铜卡环上方的液氮保护管三上安装有安全阀和温度传感器。

所述的液氮保护管一采用无氧铜材质制成，其底端部设有用于与待冷却的部件样连接固定的螺纹。

所述的液氮输送管和抽真空管伸入至液氮保护管一的底端部，且与底端端部间隔一定距离。

其原理是：通过液氮输送管、抽真空管、液氮保护管套装的结构设置，不但实现了对内置液氮输送管保护的作用，而且通过液氮保护管一的结构，可有效缩短抽真空的空间和效率，从而保证冷却效果，过程中，首先抽真空支路上的抽真空阀打开对液氮保护管一进行抽真空，抽真空之后再对液氮输送管内进行充入液氮，对其连接腔体或超过真空装置进行冷却降温，此结构设计合理，套装式保护管体的设计，方便安装配合，冷却效果好，而且通过液氮输送管的保护作用，以及液氮保护管三端部的一端与液氮输送管伸出端之间通过密封端盖密封配合，液氮保护管三的另一端与液氮保护管二的端部之间通过无氧铜卡环和密封圈密封压装，避免出现漏气现象。

本实用新型的优点是：

本实用新型结构设计合理，通过液氮输送管、抽真空管、液氮保护管套装的结构设置，不但实现了对内置液氮输送管保护的作用，而且通过液氮保护管一的结构，可有效缩短抽真空的空间和效率，从而保证冷却效果，避免出现漏气现象。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式：