[实用新型]一种粉尘分离装置

权利要求书

1.一种粉尘分离装置，应用于等离子体增强型化学气相沉积镀膜设备，其特征在于，包括：

进气管，在一端分叉为形成第一进气支管、第二进气支管；

出气管，在一端分叉为形成第一出气支管、第二出气支管；

第一过滤管，由第一管体及其内部的第一过滤体构成；

第二过滤管，由第二管体及其内部的第二过滤体构成；

所述第一管体的首尾分别通过第一阀门与所述第一进气支管、所述第一出气支管连接；

所述第二管体的首尾分别通过与第二阀门独立启闭的第二阀门与所述第二进气支管、所述第二出气支管连接。

2.根据权利要求1所述的粉尘分离装置，其特征在于，所述第一过滤体为单体或组合体。

3.根据权利要求1所述的粉尘分离装置，其特征在于，所述第二过滤体为单体或组合体。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的粉尘分离装置，其特征在于，所述第一过滤体遍及第一管体的管腔横断面的部分或全部。

5.根据权利要求4所述的粉尘分离装置，其特征在于，所述第二过滤体遍及第二管体的管腔横断面的部分或全部。

6.根据权利要求1所述的粉尘分离装置，其特征在于，所述第一过滤体是单体，且为滤网。

7.根据权利要求6所述的粉尘分离装置，其特征在于，所述第二过滤体是单体，且为滤网。

8.根据权利要求1所述的粉尘分离装置，其特征在于，所述第二过滤体是单体，且为滤网。

9.根据权利要求1所述的粉尘分离装置，其特征在于，所述第一过滤体为组合体，且包括第一中空管、围绕所述第一中空管的外壁在轴向呈螺旋性布置的多个第一滤网；

或者，所述第二过滤体为组合体，且包括第二中空管、围绕所述第二中空管的外壁在轴向呈螺旋性布置的多个第二滤网。

10.根据权利要求1或8或9所述的粉尘分离装置，其特征在于，所述第一管体为直管或弯曲管；或者，所述第二管体为直管或弯曲管；

所述弯曲管包括U型管。