[实用新型]一种粉尘分离装置

说明书

一种粉尘分离装置，属于光伏领域。粉尘分离装置包括进气管、出气管以及第一过滤管和第二过滤管。该粉尘分离装置具有两套过滤结构，可同时工作，并且还能够交替工作，从而允许在非停机状态下进行维护，提高设备的利用率。

技术领域

本申请涉及光伏领域，具体而言，涉及一种粉尘分离装置。

背景技术

目前，在太阳能光伏产业中，电池片生产过程通常会涉及到等离子体增强化学的气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)镀膜工艺的使用。在工艺制程中，PECVD镀膜技术越来越凸显其产能和效率的重要性。

二合一设备具有单一设备所不具有的特性，并且因此逐渐从设计理念走向了实际的工业化应用。因此，在实际的生产中，基于二合一设计理念改进的PECVD镀膜也得到了发展。

然而，由于其工艺的特殊性，相较于传统单一的PECVD镀膜设备，二合一设备的工作稳定性成为制约其进一步应用的现实问题。

实用新型内容

为改善、甚至解决上述的PECVD镀膜设备的工作稳定性问题，本申请提出了粉尘分离装置。

本申请是这样实现的：

在第一方面，本申请的示例提供了一种应用于等离子体增强型化学气相沉积镀膜设备的粉尘分离装置。

粉尘分离装置包括进气管、出气管、第一过滤管以及第二过滤管。

进气管在一端分叉为形成第一进气支管、第二进气支管。

出气管在一端分叉为形成第一出气支管、第二出气支管。

第一过滤管由第一管体及其内部的第一过滤体构成。

第二过滤管由第二管体及其内部的第二过滤体构成。

第一管体的首尾分别通过第一阀门与第一进气支管、第一出气支管连接。

第二管体的首尾分别通过与第二阀门独立启闭的第二阀门与第二进气支管、第二出气支管连接。

粉尘分离装置包括两套过滤通路，两者可以通过工作，也可以独立地工作。因此，两者同时工作可以使装置获得高的过滤效率。当两者仅其中一者工作时，另一者可以被替换或者拆卸进行维护、清洁。

结合第一方面，在本申请的第一方面的第一种可能的实施方式中，第一过滤体为单体或组合体。

结合第一方面，在本申请的第一方面的第二种可能的实施方式中，第二过滤体为单体或组合体。

结合第一方面或第一方面的第一种或第二种实施方式，在本申请的第一方面的第三种可能的实施方中，第一过滤体遍及第一管体的管腔横断面的部分或全部。

结合第一方面的第三种实施方式，在本申请的第一方面的第四种可能的实施方中，第二过滤体遍及第二管体的管腔横断面的部分或全部。

结合第一方面，在本申请的第一方面的第五种可能的实施方式中，第一过滤体是单体，且为滤网。

结合第一方面或第一方面的第五种实施方式，在本申请的第一方面的第三种可能的实施方中，第一过滤体是单体，且为滤网。

结合第一方面，在本申请的第一方面的第七种可能的实施方式中，第二过滤体是单体，且为滤网。

结合第一方面，在本申请的第一方面的第八种可能的实施方式中，第一过滤体为组合体，且包括第一中空管、围绕第一中空管的外壁在轴向呈螺旋性布置的多个第一滤网。

或者，第二过滤体为组合体，且包括第二中空管、围绕第二中空管的外壁在轴向呈螺旋性布置的多个第二滤网。