[实用新型]一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线有效
| 申请号： | 202020334403.0 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN212152429U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 阿力甫·库提鲁克;李浩;洪巍;梅新灵 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 姜杉 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 抗热 膨胀 偏转 电子束 蒸发 源用软 连接 导线 | ||
1.一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线，其特征在于：包括金属管端子(1)、多根柔性导线(2)和扭簧端子(3)；
所述金属管端子(1)压接所述多根柔性导线(2)的一端；所述扭簧端子(3)压接所述多根柔性导线(2)的另一端。
2.根据权利要求1所述的一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线，其特征在于：所述多根柔性导线(2)螺旋缠绕。
3.根据权利要求1所述的一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线，其特征在于：所述金属管端子(1)上设置有一个孔洞。
4.根据权利要求1所述的一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线，其特征在于：所述多根柔性导线(2)的材质选自Au、Ag、Be和Cu中的一种。
5.根据权利要求1所述的一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线，其特征在于：所述金属管端子(1)的材质与所述多根柔性导线(2)相同；
所述扭簧端子(3)的材质与所述多根柔性导线(2)相同。
6.根据权利要求1所述的一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线，其特征在于：所述柔性导线(2)的直径为0.5mm，所述柔性导线(2)的数量为19根。
7.根据权利要求1所述的一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线，其特征在于：所述柔性导线(2)的直径为0.2mm，所述柔性导线(2)的数量为49根。
8.根据权利要求1所述的一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线，其特征在于：所述多根柔性导线(2)外部设置有绝缘陶瓷。
9.一种蒸发源，包括电子枪(6)、磁铁和坩埚，其特征在于：使用权利要求1-8任一所述的一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线给所述电子枪(6)供电。
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