[实用新型]一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线

说明书

本实用新型提供了一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线，包括金属管端子(1)、多根柔性导线(2)和扭簧端子(3)；所述金属管端子(1)压接所述多根柔性导线(2)的一端；所述扭簧端子(3)压接所述多根柔性导线(2)的另一端。本实用新型的有益效果是：在成本低廉的前提下便可避免磁偏转电子束蒸发源运作时的电子枪及其关键部件位移，避免高压电弧放电，进而提高产品可靠性，提高设备的寿命，降低使用成本。

技术领域

本实用新型涉及磁偏转电子束蒸发源的关键部件领域，特别涉及一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线。

背景技术

磁偏转电子束发源是一种安装在真空腔体内，使用偏转电子束来加热材料，实现蒸发的蒸发源。广泛的用于高纯薄膜材料制备，以应用于集成电路或功能器件的科研或生产等。特征是束流看不见灯丝，灯丝寿命长。

磁偏转电子束蒸发源工作时，靶材温度可达3000℃以上，电子发射器也处在2000℃以上的高温，因此会引起电子发射器以及与之相连的导线发生热膨胀。为了使电子能够加速到10⁷m/s量级的速度以在磁场中偏转到预设路径，电子发射器以及与之相连的导线均需承载有负高压。然而工作时的高温引起的导线热膨胀会引起电子发射器出现位移，进而造成高压电弧放电，故障率高。

为了解决热膨胀导致故障率上升的问题，除了加固电子发射器固定方法之外，一般从与之连接的导线入手，常规是使用OT型冷压端子连接硬质导线和灯丝基座，这种方式虽然结构简单，但由于导线存在一定的硬度，所以安装不便，接触电阻大；另一种是在硬质导线端部加工出螺纹，在灯丝基座上打螺纹孔连接以减少装配空间，该种方法一般应用在设置在CF35或CF63法兰上的紧凑型磁偏转电子束蒸发源等，然而由于电子发射器工作时处于高温，螺纹连接存在松动的可能，而且单根硬质导线存在金属疲劳的问题。此外，所有的硬质导线连接都存在热膨胀导致的应力问题，为了解决该问题，现有技术一般将硬质导线扭转出回形结构来抵消热膨胀。但由于导线中流过加热灯丝的电流，而回形结构会产生较强的干扰磁场，存在影响电子束轨迹的问题，而且回形结构折弯处的金属疲劳严重，局部温度高。同时也有延长电子发射器的灯丝基座的做法，使得热传导至导线的温度变低，然而由于电子发射器需要耐受高温，一般使用昂贵的难熔金属制成(常用为Mo金属)，延长灯丝基座会导致材料耗费增加，成本升高。

故市场亟需一种在成本低廉的前提下便可避免磁偏转电子束蒸发源运作时的电子枪及其关键部件位移，避免高压电弧放电，进而提高产品可靠性，提高设备的寿命，降低使用成本的装置。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型中披露了一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线，本实用新型的技术方案是这样实施的：

一种抗热膨胀的磁偏转电子束蒸发源用软连接导线，其特征在于：包括金属管端子(1)、多根柔性导线(2)和扭簧端子(3)；所述金属管端子(1)压接所述多根柔性导线(2)的一端；所述扭簧端子(3)压接所述多根柔性导线(2)的另一端。

优选地，所述多根柔性导线(2)螺旋缠绕。

优选地，所述金属管端子(1)上设置有一个孔洞。

优选地，所述多根柔性导线(2)的材质选自Au，Ag，Be、Cu中的一种。

优选地，所述金属管端子(1)的材质与所述多根柔性导线(2)相同；所述扭簧端子(3)的材质与所述多根柔性导线(2)相同。

优选地，所述柔性导线(2)的直径为0.5mm，所述柔性导线(2)的数量为19根。

优选地，所述柔性导线(2)的直径为0.2mm，所述柔性导线(2)的数量为49根。

优选地，所述多根柔性导线(2)外部设置有绝缘陶瓷。