[实用新型]应用于真空镀膜机内的基片承载遮蔽装置

权利要求书

1.一种应用于真空镀膜机内的基片承载遮蔽装置，其特征在于，包括有固定在镀膜机腔室外部顶端的支撑板(1)、位于所述镀膜机腔室内的基片台(7)、罩在所述基片台(7)外的遮挡罩(6)、用于驱动所述遮挡罩(6)旋转的第一驱动装置和用于驱动所述基片台(7)旋转的第二驱动装置，所述第一驱动装置的顶端与所述支撑板(1)相连接，所述第一驱动装置的底端与所述遮挡罩(6)相连接，所述第二驱动装置连接在所述基片台(7)的下方，且所述基片台(7)的每个侧壁上均可放置有基片，所述遮挡罩(6)的侧壁上设置有开口，所述开口尺寸大于所述基片的尺寸且小于或等于所述基片台(7)侧壁的尺寸。

2.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜机内的基片承载遮蔽装置，其特征在于，所述第一驱动装置包括有固定安装在所述支撑板(1)下端面的第一电机(2)、与所述遮挡罩(6)连接的传动装置，所述传动装置与所述第一电机(2)传动连接。

3.根据权利要求2所述的应用于真空镀膜机内的基片承载遮蔽装置，其特征在于，所述传动装置包括有与所述第一电机(2)固定连接的传动齿轮(3)、固定连接在所述支撑板(1)下端面的连接轴和可旋转地套在所述连接轴外的第一传动轴(4)，所述第一传动轴(4)的底端与所述遮挡罩(6)连接，所述第一传动轴(4)上设置有与所述传动齿轮(3)相啮合的锯齿。

4.根据权利要求3所述的应用于真空镀膜机内的基片承载遮蔽装置，其特征在于，所述第一传动轴(4)与所述遮挡罩(6)通过抽插模块(5)可拆卸地连接。

5.根据权利要求4所述的应用于真空镀膜机内的基片承载遮蔽装置，其特征在于，所述抽插模块(5)包括有与所述第一传动轴(4)相连接的T型接头和与所述遮挡罩(6)相连接的连接块，所述连接块上设置有供所述T型接头的水平部分(12)伸入的U型槽(8)和供所述T型接头的竖直部分(11)穿过的通槽(9)，所述通槽(9)位于所述U型槽(8)的上侧壁、并与所述U型槽(8)相连通，所述U型槽(8)的上侧壁内侧设置有与所述T型接头的水平部分(12)相匹配的凹槽(10)、以使所述T型接头的水平部分(12)能够紧密嵌在所述凹槽(10)内，且所述凹槽(10)侧壁的开口宽度小于所述T型接头的水平部分(12)的最大宽度。

6.根据权利要求5所述的应用于真空镀膜机内的基片承载遮蔽装置，其特征在于，所述T型接头的竖直部分(11)呈长方体结构，所述T型接头的水平部分(12)呈圆柱体结构。

7.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜机内的基片承载遮蔽装置，其特征在于，所述第二驱动装置包括有位于所述镀膜机腔室外底端的第二电机和与所述第二电机的驱动轴相连接的第二传动轴，所述第二传动轴与所述基片台(7)的底端相连接。

8.根据权利要求1所述的应用于真空镀膜机内的基片承载遮蔽装置，其特征在于，所述遮挡罩为圆筒状结构，且所述遮挡罩的底端设置有供所述基片台(7)穿过的底部开口，所述底部开口与所述开口相连通。

9.根据权利要求7所述的应用于真空镀膜机内的基片承载遮蔽装置，其特征在于，所述基片台(7)包括有基片台主体(13)、设置在基片台主体(13)侧壁上的用于放置基片的基片卡槽(14)、用于支撑所述基片台主体(13)的旋转支撑台(15)，所述旋转支撑台(15)与第二传动轴相连接。

10.根据权利要求9所述的应用于真空镀膜机内的基片承载遮蔽装置，其特征在于，所述基片台主体(13)为长方体结构。