[实用新型]一种节能型晶圆甩干机

权利要求书

1.一种节能型晶圆甩干机，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）的底部四拐角处均固定设置减震底座（22），所述箱体（1）的内侧下方固定设置隔板（23），所述隔板（23）的中部转动设置转动轴（2），所述转动轴（2）的顶端固定连接旋转盘（3），所述旋转盘（3）的上方穿插设置过滤筒（4），所述过滤筒（4）的中部外表面均匀且等间隙设置四组定位块（5），所述定位块（5）的另一端且远离过滤筒（4）一侧固定连接有限位杆（7），所述限位杆（7）的另一端贯穿并延伸至矩形块（8）内，所述矩形块（8）的底端固定连接竖杆（12），所述竖杆（12）的底端固定安装于旋转盘（3）上方，所述转动轴（2）的底端贯穿并延伸至隔板（23）的正下方与箱体（1）底端的轴承座转动连接，所述转动轴（2）的外侧固定设置从动锥形齿轮（13），所述从动锥形齿轮（13）上啮合连接有主动锥形齿轮（14），所述主动锥形齿轮（14）的另一端固定连接主动轴（15），所述主动轴（15）的另一端贯穿并延伸至箱体（1）的右侧固定安装有转动把手（16），所述隔板（23）的左右两端通过出水口贯通设置L型弯形排水管（19），所述L型弯形排水管（19）的另一端贯穿并延伸至箱体（1）外，所述箱体（1）的顶部设置顶盖（20）。

2.根据权利要求1所述的一种节能型晶圆甩干机，其特征在于：所述定位块（5）的左右两端对称设置固定片（6），且固定片（6）的内部开设有安装孔。

3.根据权利要求1所述的一种节能型晶圆甩干机，其特征在于：所述矩形块（8）内开设有圆形槽（9），所述圆形槽（9）内侧固定安装第一弹簧（10），所述第一弹簧（10）的另一端固定连接挡板（11），所述挡板（11）滑动设置于圆形槽（9）内且挡板（11）的另一端与限位杆（7）固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种节能型晶圆甩干机，其特征在于：所述箱体（1）的顶部及隔板（23）的底部之间竖向设置两个竖板（17），所述竖板（17）间隙设置于主动锥形齿轮（14）、从动锥形齿轮（13）的外侧，所述箱体（1）的后侧表面且与竖板（17）相对应位置铰链连接矩形盖板（18）。

5.根据权利要求1所述的一种节能型晶圆甩干机，其特征在于：所述顶盖（20）与箱体（1）为可拆卸连接，且顶盖（20）的底部且沿过滤筒（4）的上部外圆周分别设置四组支撑滚轮（21），所述支撑滚轮（21）上固定设置连接杆，且连接杆的顶端与顶盖（20）的底端固定连接。