[实用新型]一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶

权利要求书

1.一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶，包括靶材本体(1)、外冷却环本体(2)、中心柱本体(7)、中空槽(8)和清洗结构(9)，其特征在于：所述靶材本体(1)的内部设置有中空槽(8)，且中空槽(8)内部的中心位置处设置有中心柱本体(7)，中心柱本体(7)的一端与靶材本体(1)固定连接，并且中心柱本体(7)的外壁上套装有中心环本体(6)，中心环本体(6)的内壁与中心柱本体(7)的外壁固定连接，所述中心环本体(6)外侧的中空槽(8)内部安装有内冷却环本体(4)，且内冷却环本体(4)一侧的外壁上设置有内冷却槽(5)，所述内冷却环本体(4)外侧的靶材本体(1)内壁上设置有清洗结构(9)。

2.根据权利要求1所述的一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶，其特征在于：所述内冷却环本体(4)外侧的中空槽(8)内部设置有外冷却环本体(2)，且外冷却环本体(2)的外壁与靶材本体(1)的内壁紧密接触，并且外冷却环本体(2)一侧的外壁上设置有外冷却槽(3)。

3.根据权利要求1所述的一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶，其特征在于：所述内冷却环本体(4)远离内冷却槽(5)一侧的外壁上设置有固定架体(10)，固定架体(10)的一端与内冷却环本体(4)固定连接，且固定架体(10)的外壁上皆固定有等间距的第一磁铁块(11)。

4.根据权利要求1所述的一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶，其特征在于：所述清洗结构(9)的内部依次设置有环状屏蔽壁(901)、清洗腔(902)、输气管道(903)、进气口(904)和出气口(905)，所述内冷却环本体(4)外侧的中空槽(8)内部固定有环状屏蔽壁(901)，且环状屏蔽壁(901)靠近靶材本体(1)的一侧设置有清洗腔(902)。

5.根据权利要求4所述的一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶，其特征在于：所述清洗腔(902)远离环状屏蔽壁(901)一侧的靶材本体(1)内部皆固定有等间距的输气管道(903)，且输气管道(903)的一端设置有进气口(904)，并且输气管道(903)的另一端延伸至清洗腔(902)的内部并设置有出气口(905)。

6.根据权利要求3所述的一种具有在线清洗功能的磁控溅射靶，其特征在于：所述第一磁铁块(11)一侧的固定架体(10)外壁上皆设置有第二磁铁块(12)，第二磁铁块(12)的一端与固定架体(10)的外壁固定连接，且第二磁铁块(12)的磁性与第一磁铁块(11)的磁性相反，第二磁铁块(12)与第一磁铁块(11)相互配合。