[实用新型]气体质量流量控制器检测模块及设备

权利要求书

1.一种气体质量流量控制器检测模块，其特征在于，所述检测模块包括第一子检测模块，所述第一子检测模块的输入端连接第一气源；

所述第一子检测模块，包括：过滤器、第一入口截止阀、第一检测单元、第一压力传感器、第一出口截止阀；所述第一检测单元，包括：第一待测气体质量流量控制器接入接口和第一流量标准，所述第一待测气体质量流量控制器接入接口和所述第一流量标准串联；

所述过滤器连接所述第一入口截止阀，所述第一入口截止阀连接所述第一检测单元，所述第一检测单元连接所述第一压力传感器，所述第一压力传感器连接所述第一出口截止阀；

第一待测气体质量流量控制器通过所述第一待测气体质量流量控制器接入接口接入所述第一检测单元，进行检测。

2.根据权利要求1所述的模块，其特征在于，还包括：第一分组单元；所述第一分组单元连接所述第一入口截止阀和所述第一检测单元；

所述第一分组单元，包括：至少一个第一子分组单元；所述第一子分组单元的个数与所述第一检测单元的个数相同。

3.根据权利要求1-2任一所述的模块，其特征在于，还包括：第二子检测模块，所述第二子检测模块的输入端，连接第二气源；

所述第二子检测模块，包括：第二入口截止阀、第二检测单元、第二压力传感器、第二出口截止阀；所述第二检测单元，包括：第二待测气体质量流量控制器接入接口和第二流量标准，所述第二待测气体质量流量控制器接入接口与所述第二流量标准串联；

所述第二入口截止阀连接所述第二检测单元，所述第二检测单元连接所述第二压力传感器，所述第二压力传感器连接所述第二出口截止阀；

第二待测气体质量流量控制器通过所述第二待测气体质量流量控制器接入接口接入所述第二检测单元，进行检测。

4.一种气体质量流量控制器检测设备，其特征在于，包括：设备本体；所述设备本体上设置有：操作台、权利要求1-3任一所述的检测模块、气源提供模块、数据采集模块、电源提供模块；

所述操作台与所述检测模块，通过所述第一待测气体质量流量控制器接入接口相连；

所述操作台通过所述第一待测气体质量流量控制器接入接口与所述检测模块相连；

所述气源提供模块与所述检测模块相连，所述气源提供模块，包括：第一气源；

所述数据采集模块与所述检测模块相连；

所述电源提供模块，分别与所述数据采集模块、所述检测模块相连。

5.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，还包括：接口转换模块；所述接口转换模块用于为第一待测气体质量流量控制器提供供电及通信的物理连接和转换；

所述接口转换模块，包括：电源转换接口、通信转换接口。

6.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述气源提供模块，还包括：第二气源；所述第一气源为外接钢瓶气源；所述第二气源为内部供气气源。

7.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，所述数据采集模块为工控机。

8.根据权利要求4所述的设备，其特征在于，还包括：人机交互模块；所述人机交互模块与所述数据采集模块相连；

所述人机交互模块，用于与所述数据采集模块进行数据交互。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于：所述人机交互模块，还用于根据检测数据打印检测报告。

10.根据权利要求4-9任一所述的设备，其特征在于，还包括：底轮；所述底轮设置在所述设备本体的底部。