[实用新型]气体质量流量控制器检测模块及设备

说明书

本实用新型涉及一种气体质量流量控制器检测模块及设备，该设备包括：设备本体；设备本体上设置有：操作台、检测模块、气源提供模块、数据采集模块、电源提供模块；操作台与检测模块，通过第一待测气体质量流量控制器接入接口相连；气源提供模块与检测模块相连；数据采集模块与检测模块相连；电源提供模块，分别与数据采集模块、检测模块相连。通过设立不同气源，实现同时检测不同气源要求的MFC的检测，设定多路气路，增加了检测个数，实现综合性的MFC性能指标参数检测，测试并评价MFC精度，线性，重复性，响应时间等全部基于国标参数的关键参数，并能够实现多种控制模式的自动检测，数据记录，自动打印报告。

技术领域

本实用新型属于检测技术领域，具体涉及一种气体质量流量控制器检测模块及设备。

背景技术

气体质量流量控制器((Mass Flow Controller，MFC)是带有控制气体质量流量的装置，主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生中有着重要的应用。因此，气体质量流量控制器的本身是否合格，性能指标参数是否合格，至关重要。

目前，在现有技术中，对MFC的质量检测，往往是生产厂商在产品装配生产后由质检进行检测，每个质检员检测一台MFC的性能参数，其中包括必须满足国家标准的参数指标，精度，线性度，响应时间等性能参数，每个质检员检查每一个步骤时都需要更换相应的标准设备和控制设备逐一连接后开始检测，检测后记录数据，计算，判断是否合格，填写出厂检测报告，流水线工作，程序繁琐，浪费人力资源。

因此，现在技术中的MFC检测存在操作繁琐、浪费时间、人力的技术问题。

实用新型内容

为了至少解决现有技术存在的上述问题，本实用新型提供了一种气体质量流量控制器检测模块及设备。

本实用新型提供的技术方案如下：

一方面，一种气体质量流量控制器检测模块，所述检测模块包括第一子检测模块，所述第一子检测模块的输入端连接第一气源；

所述第一子检测模块，包括：过滤器、第一入口截止阀、第一检测单元、第一压力传感器、第一出口截止阀；所述第一检测单元，包括：第一待测气体质量流量控制器接入接口和第一流量标准，所述第一待测气体质量流量控制器接入接口和所述第一流量标准串联；

所述过滤器连接所述第一入口截止阀，所述第一入口截止阀连接所述第一检测单元，所述第一检测单元连接所述第一压力传感器，所述第一压力传感器连接所述第一出口截止阀；

第一待测气体质量流量控制器通过所述第一待测气体质量流量控制器接入接口接入所述第一检测单元，进行检测。

可选地，还包括：第一分组单元；所述第一分组单元连接所述第一入口截止阀和所述第一检测单元；

所述第一分组单元，包括：至少一个第一子分组单元；所述第一子分组单元的个数与所述第一检测单元的个数相同。

可选地，还包括：第二子检测模块，所述第二子检测模块的输入端，连接第二气源；

所述第二子检测模块，包括：第二入口截止阀、第二检测单元、第二压力传感器、第二出口截止阀；所述第二检测单元，包括：第二待测气体质量流量控制器接入接口和第二流量标准，所述第二待测气体质量流量控制器接入接口与所述第二流量标准串联；

所述第二入口截止阀连接所述第二检测单元，所述第二检测单元连接所述第二压力传感器，所述第二压力传感器连接所述第二出口截止阀；

第二待测气体质量流量控制器通过所述第二待测气体质量流量控制器接入接口接入所述第二检测单元，进行检测。