[实用新型]一种功率半导体引线框架加热机用框架加热机构有效
申请号: | 202020361549.4 | 申请日: | 2020-03-20 |
公开(公告)号: | CN211455658U | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 宋岩 | 申请(专利权)人: | 大连泰一半导体设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L23/495 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 116600 辽宁省大连市经*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 功率 半导体 引线 框架 热机 加热 机构 | ||
1.一种功率半导体引线框架加热机用框架加热机构,包括框架定位平台(1)、框架加热平台(2)和平台箱体(3),其特征在于:所述框架定位平台(1)固定在框架加热平台(2)顶部,所述框架加热平台(2)固定在平台箱体(3)顶部,所述框架定位平台(1)内腔放置有框架转运架(4),所述框架转运架(4)底部贴合有升降平台(6),所述升降平台(6)与框架加热平台(2)顶部相贴合,所述框架转运架(4)内腔贴合有框架定位块(7),且框架转运架(4)两侧均贴合有转运架固定块(8),所述转运架固定块(8)固定连接在升降平台(6)顶部,所述框架加热平台(2)顶部固定连接有加热板(9),所述加热板(9)顶部与升降平台(6)底部相贴合,所述平台箱体(3)底部固定连接有平台底板(12),所述平台底板(12)底部固定连接有驱动电机(13),所述驱动电机(13)输出轴固定连接有驱动连杆(14),所述驱动连杆(14)连接有升降机构(15),所述升降机构(15)与升降平台(6)底部固定连接,所述框架定位块(7)内腔放置有引线框架(5)。
2.根据权利要求1所述的一种功率半导体引线框架加热机用框架加热机构,其特征在于:所述加热板(9)内腔固定连接有温度传感器(11)。
3.根据权利要求1所述的一种功率半导体引线框架加热机用框架加热机构,其特征在于:所述加热板(9)底部固定连接有隔温板(10),所述隔温板(10)底部与框架加热平台(2)顶部固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种功率半导体引线框架加热机用框架加热机构,其特征在于:所述平台箱体(3)外侧壁固定连接有保温板(16)。
5.根据权利要求4所述的一种功率半导体引线框架加热机用框架加热机构,其特征在于:所述保温板(16)为隔热塑胶板。
6.根据权利要求1所述的一种功率半导体引线框架加热机用框架加热机构,其特征在于:所述框架定位块(7)内腔的宽度等于引线框架(5)外壁的宽度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造