[实用新型]一种用于硅片分离的风刀装置有效

专利信息
申请号: 202020362258.7 申请日: 2020-03-20
公开(公告)号: CN211828809U 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵 申请(专利权)人: 罗博特科智能科技股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 张荣
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 硅片 分离 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种用于硅片分离的风刀装置,该装置包括本体、限位板和导流板,本体内设有型腔,型腔内设有贯穿至型腔外壁的通气孔;限位板围设于型腔周围;导流板装配于本体上,导流板、限位板与本体配合形成与型腔连通的气流缝隙。本实用新型用于硅片分离的风刀装置可实现硅片的分离作业,避免对硅片产生损伤,该装置结构合理,调节方便,可通过更换不同厚度的限位板实现对气流缝隙的调节,同样适用其他工况。

技术领域

本实用新型涉及风刀技术领域,特别涉及一种用于硅片分离的风刀装置。

背景技术

太阳能电池硅片的生产过程中,有一个重要的环节:分片,即将吸附在一起的硅片分离,分片后即可将分离的硅片进行吸取至下一工位,进行下一步工艺,现有的分片方式大多还是采用人工来完成,人工操作存在损伤硅片的风险,因此,需要一种可将硅片分离的自动化设备。

实用新型内容

针对现有技术的不足,本实用新型目的在于提供一种结构合理,调节方便的用于硅片分离的风刀装置。其采用如下技术方案:

一种用于硅片分离的风刀装置,其包括:

本体,所述本体内设有型腔,所述型腔内设有贯穿至所述型腔外壁的通气孔;

限位板,围设于所述型腔周围;

导流板,装配于所述本体上,所述导流板、限位板与本体配合形成与所述型腔连通的气流缝隙。

作为本实用新型的进一步改进,所述本体上设有第一平面,所述导流板上设有与所述第一平面相对设置的第二平面,所述第一平面和第二平面分别形成所述气流缝隙的两边。

作为本实用新型的进一步改进,所述限位板包括两侧挡板,所述两侧挡板之间形成U型限位槽,所述两侧挡板分别设于所述气流缝隙的两端。

作为本实用新型的进一步改进,所述本体、限位板和导流板三者通过螺丝连接。

作为本实用新型的进一步改进,所述本体上设有若干螺纹槽,所述限位板上设有若干第一装配孔,所述导流板上设有若干第二装配孔,所述螺纹槽、第一装配孔和第二装配孔一一对应设置,螺丝依次穿过所述第二装配孔和第一装配孔后进入所述螺纹槽内将所述导流板和限位板固定在所述本体上。

作为本实用新型的进一步改进,所述型腔为长条形,所述型腔的长度与所述气流缝隙的长度匹配。

作为本实用新型的进一步改进,所述气流缝隙的宽度小于0.5mm。

作为本实用新型的进一步改进,所述气流缝隙的宽度为0.1mm。

作为本实用新型的进一步改进,所述本体上连接有用于固定所述本体的固定板。

作为本实用新型的进一步改进,所述固定板与本体通过螺丝连接。

本实用新型的有益效果:

本实用新型用于硅片分离的风刀装置可实现硅片的分离作业,避免对硅片产生损伤,该装置结构合理,调节方便,可通过更换不同厚度的限位板实现对气流缝隙的调节,同样适用其他工况。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。

附图说明

图1是本实用新型实施例中用于硅片分离的风刀装置的外部结构示意图;

图2是本实用新型实施例中用于硅片分离的风刀装置的内部结构示意图;

图3是本实用新型实施例中限位板的结构示意图;

图4是本实用新型实施例中导流板的结构示意图。

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