[实用新型]一种探针卡裸露处的防护结构有效
申请号: | 202020368452.6 | 申请日: | 2020-03-23 |
公开(公告)号: | CN212083508U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 赵梁玉;于海超;王艾琳 | 申请(专利权)人: | 强一半导体(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R1/02;B01D46/12;B08B5/04 |
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地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 探针 裸露 防护 结构 | ||
1.一种探针卡裸露处的防护结构,其特征在于:包括防护壳(4)、清灰机构和防护机构;
所述清灰机构包括风机(1)、固定板(3)和过滤块(14),所述防护壳(4)一端固接有固定板(3),所述固定板(3)一侧固接有两个过滤块(14),所述过滤块(14)一端通过第一风管(2)固接在风机(1)一侧,所述风机(1)固接在两个过滤块(14)之间;
所述防护机构包括固定杆(5)、卡块(6)和防护板(16),所述固定杆(5)固接在防护板(16)两侧,所述防护板(16)安装在顶板(12)下方,所述顶板(12)固接在两个防护壳(4)之间,且所述防护壳(4)远离风机(1)的一端卡合有卡块(6),所述卡块(6)下方安装有卡板(17)。
2.根据权利要求1所述的一种探针卡裸露处的防护结构,其特征在于:两个所述过滤块(14)内部均固接有双层过滤网(13),所述过滤网(13)一侧贯穿有第二风管(15)一端,所述第二风管(15)另一端贯穿固定板(3)后套接在防护板(16)一侧,位于所述顶板(12)下方。
3.根据权利要求1所述的一种探针卡裸露处的防护结构,其特征在于:所述防护壳(4)顶部开设有滑槽(9),所述滑槽(9)内贯穿有固定杆(5),所述固定杆(5)顶部套接有限位块(10),所述限位块(10)卡合在滑槽(9)两侧,且所述固定杆(5)与防护壳(4)之间滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种探针卡裸露处的防护结构,其特征在于:所述顶板(12)内侧固接有若干固定块(11),所述固定块(11)与防护板(16)上的通孔之间卡合连接,所述通孔底部被第二风管(15)一端贯穿,且所述防护板(16)底部安装有卡板(17),所述卡板(17)左端固接在风机(1)下方。
5.根据权利要求1所述的一种探针卡裸露处的防护结构,其特征在于:两个所述卡块(6)上均开设有卡槽,所述卡槽内卡合有横杆(7)一端,所述横杆(7)靠近顶板(12)的一侧固接有卡套(8),所述卡套(8)底部套接在卡板(17)右端。
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