[实用新型]一种探针卡裸露处的防护结构

说明书

本实用新型公开了一种探针卡裸露处的防护结构，包括防护壳、清灰机构和防护机构；清灰机构包括风机、第一风管、固定板、过滤网、过滤块和第二风管；防护机构包括防护壳、固定杆、卡块、横杆、卡套、滑槽、限位块、固定块、顶板、防护板和卡板。本实用新型结构设计合理，将卡板卡合在探针卡底部，顶板和防护板均位于探针卡上方，调节固定杆在滑槽内的长度，使防护板下降，防护板对探针卡裸露处防护，避免探针卡落灰影响使用；本实用新型结构设计紧凑，防护板下降，使通孔与第二风管连通，防护板对探针卡裸露处清灰，灰尘经过第二风管进入过滤块内，卡套卡合在探针卡一侧，增加卡板和探针卡卡合的稳定性，便于整个装置的安装和拆卸。

技术领域

本实用新型涉及一种防护结构，具体是一种探针卡裸露处的防护结构，属于防护装置应用技术领域。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程。因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。

探针卡表面存在裸露处，缺乏防护结构对裸露处保护，探针卡表面将会落灰影响探针卡的正常使用，且对探针卡保护时无法清除已经堆积的灰尘，降低了探针卡使用的灵敏度，而防护结构的安装和拆卸操作不便，不利于多次使用。因此，针对上述问题提出一种探针卡裸露处的防护结构。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种探针卡裸露处的防护结构。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，包括防护壳、清灰机构和防护机构；

所述清灰机构包括风机、固定板和过滤块，所述防护壳一端固接有固定板，所述固定板一侧固接有两个过滤块，所述过滤块一端通过第一风管固接在风机一侧，所述风机固接在两个过滤块之间；

所述防护机构包括固定杆、卡块和防护板，所述固定杆固接在防护板两侧，所述防护板安装在顶板下方，所述顶板固接在两个防护壳之间，且所述防护壳远离风机的一端卡合有卡块，所述卡块下方安装有卡板。

优选的，两个所述过滤块内部均固接有双层过滤网，所述过滤网一侧贯穿有第二风管一端，所述第二风管另一端贯穿固定板后套接在防护板一侧，位于所述顶板下方。

优选的，所述防护壳顶部开设有滑槽，所述滑槽内贯穿有固定杆，所述固定杆顶部套接有限位块，所述限位块卡合在滑槽两侧，且所述固定杆与防护壳之间滑动连接。

优选的，所述顶板内侧固接有若干固定块，所述固定块与防护板上的通孔之间卡合连接，所述通孔底部被第二风管一端贯穿，且所述防护板底部安装有卡板，所述卡板左端固接在风机下方。

优选的，两个所述卡块上均开设有卡槽，所述卡槽内卡合有横杆一端，所述横杆靠近顶板的一侧固接有卡套，所述卡套底部套接在卡板右端。

一种探针卡裸露处的防护结构用清灰机构，包括风机、固定板和过滤块，所述防护壳一端固接有固定板，所述固定板一侧固接有两个过滤块，所述过滤块一端通过第一风管固接在风机一侧，所述风机固接在两个过滤块之间。

一种探针卡裸露处的防护结构用防护机构，包括固定杆、卡块和防护板，所述固定杆固接在防护板两侧，所述防护板安装在顶板下方，所述顶板固接在两个防护壳之间，且所述防护壳远离风机的一端卡合有卡块，所述卡块下方安装有卡板。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型结构设计合理，将卡板卡合在探针卡底部，顶板和防护板均位于探针卡上方，调节固定杆在滑槽内的长度，使防护板下降，防护板对探针卡裸露处防护，避免探针卡落灰影响使用；