[实用新型]一种基于簇系统的全自动涂胶显影机

权利要求书

1.一种基于簇系统的全自动涂胶显影机，其特征在于：包括机架(1)、安装在机架(1)上端面的涂胶机构、硅片的输送机构及控制机构；

所述涂胶机构主要包括固设在机架(1)上的固定架(2)，所述固定架(2)远离机架(1)的一端固设有垂直方向的升降气缸(4)，所述升降气缸(4)的底端固设有水平放置的涂胶器(5)，且涂胶器(5)位于输送机构的正上方；

所述输送机构主要包括水平放置的放置板(3)、开设在放置板(3)上表面的多个放置槽(14)、固设在放置板(3)下端面的移动块(12)，所述放置槽(14)内设置有用于固定硅片的定位组件；所述移动块(12)在机架(1)的上端面滑动，所述移动块(12)上穿设有丝杠(13)，且丝杠(13)沿着放置板(3)的长度方向延伸，所述丝杠(13)的一端与输送电机(9)的输出端连接，输送电机(9)驱动移动块(12)在丝杠(13)上水平运动；

所述控制机构主要包括固定安装在固定一侧的触摸屏(7)和安装在触摸屏(7)内的控制器，所述控制器具有控制升降气缸(4)的伸缩以及输送电机(9)的启闭、转动方向的功能。

2.根据权利要求1所述的一种基于簇系统的全自动涂胶显影机，其特征在于：所述定位组件主要包括设置在放置槽(14)内底部中心处的夹紧齿轮(17)和分别位于夹紧齿轮(17)两侧的连接杆(16)，所述连接杆(16)靠近夹紧齿轮(17)的一侧设置有与夹紧齿轮(17)相啮合的齿条，且夹紧齿轮(17)带动两个连接杆(16)向相反的方向运动；所述放置槽(14)的两端分别设置有一夹块(18)，两个夹块(18)分别固设在两个连接杆(16)相互远离的一端上方，所述放置板(3)内部设有空腔，且空腔内设置有与夹紧齿轮(17)对应的夹紧电机，所述夹紧电机用于驱动夹紧齿轮(17)正反向转动。

3.根据权利要求2所述的一种基于簇系统的全自动涂胶显影机，其特征在于：所述放置槽(14)的底部设置有凹槽(15)，所述夹紧齿轮(17)与两个连接杆(16)均位于凹槽(15)内，所述放置槽(14)的底部嵌设有压力传感器(20)，用于辨别放置槽(14)内是否放置有硅片。

4.根据权利要求2所述的一种基于簇系统的全自动涂胶显影机，其特征在于：两个所述夹块(18)相互靠近的一侧粘接有软垫(19)。

5.根据权利要求1所述的一种基于簇系统的全自动涂胶显影机，其特征在于：所述机架(1)的上端面两端固设有对称设置的固定板(10)，所述丝杠(13)的两端分别与两个固定板(10)转动连接，且输送电机(9)安装在固定板(10)上；两个所述固定板(10)之间固设有两个导杆(11)，两个所述导杆(11)与丝杠(13)平行且分别位于丝杠(13)的两侧，所述导杆(11)贯穿移动块(12)且与移动块(12)活动连接。

6.根据权利要求1所述的一种基于簇系统的全自动涂胶显影机，其特征在于：所述涂胶显影机还包括检测系统，所述检测系统主要包括设置在涂胶器(5)一侧用于抓取涂布胶层后的硅片正面图像的检测装置(6)、与检测装置(6)输出端连接的分析模块和能够在发现硅片胶层涂布不良时发出报警的报警装置(8)；所述检测装置(6)的输出端通过控制器还与触摸屏(7)连接，在触摸屏(7)上显示硅片胶层的涂布情况。