[实用新型]一种基于簇系统的全自动涂胶显影机

说明书

本实用新型属于半导体制造技术领域，具体涉及一种基于簇系统的全自动涂胶显影机，包括机架、安装在机架上端面的涂胶机构、硅片的输送机构及控制机构，所述涂胶机构主要包括固设在机架上的固定架，所述固定架远离机架的一端固设有垂直方向的升降气缸，所述升降气缸的底端固设有水平放置的涂胶器，且涂胶器位于输送机构的正上方，所述输送机构主要包括水平放置的放置板、开设在放置板上表面的多个放置槽、固设在放置板下端面的移动块，所述放置槽内设置有用于固定硅片的定位组件；所述移动块在机架的上端面滑动，克服了现有技术的不足，具备便于对硅片固定以及加工效率高等优点，解决了传统的加工装置存在使用效果一般的问题。

技术领域

本实用新型属于半导体制造技术领域，具体涉及一种基于簇系统的全自动涂胶显影机。

背景技术

涂胶显影机是制造半导体的常用设备，一般用于光刻胶涂布及显影等工艺；光刻胶涂布的过程一般包括将硅片安置于涂胶显影机，由涂胶显影机的光刻胶喷嘴向硅片表面喷上光刻胶。

现有的涂胶显影机自动化程度低，每次硅片的取放都很麻烦，功能比较单一，涂胶时，效率较为低下，难以满足市场发展的需要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基于簇系统的全自动涂胶显影机，克服了现有技术的不足，具备便于对硅片固定以及加工效率高等优点，解决了传统的加工装置存在使用效果一般的问题。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案如下：

一种基于簇系统的全自动涂胶显影机，包括机架、安装在机架上端面的涂胶机构、硅片的输送机构及控制机构；

所述涂胶机构主要包括固设在机架上的固定架，所述固定架远离机架的一端固设有垂直方向的升降气缸，所述升降气缸的底端固设有水平放置的涂胶器，且涂胶器位于输送机构的正上方；

所述输送机构主要包括水平放置的放置板、开设在放置板上表面的多个放置槽、固设在放置板下端面的移动块，所述放置槽内设置有用于固定硅片的定位组件；所述移动块在机架的上端面滑动，所述移动块上穿设有丝杠，且丝杠沿着放置板的长度方向延伸，所述丝杠的一端与输送电机的输出端连接，输送电机驱动移动块在丝杠上水平运动；

所述控制机构主要包括固定安装在固定一侧的触摸屏和安装在触摸屏内的控制器，所述控制器具有控制升降气缸的伸缩以及输送电机的启闭、转动方向的功能。

进一步，所述定位组件主要包括设置在放置槽内底部中心处的夹紧齿轮和分别位于夹紧齿轮两侧的连接杆，所述连接杆靠近夹紧齿轮的一侧设置有与夹紧齿轮相啮合的齿条，且夹紧齿轮带动两个连接杆向相反的方向运动；所述放置槽的两端分别设置有一夹块，两个夹块分别固设在两个连接杆相互远离的一端上方，所述放置板内部设有空腔，且空腔内设置有与夹紧齿轮对应的夹紧电机，所述夹紧电机用于驱动夹紧齿轮正反向转动。

进一步，所述放置槽的底部设置有凹槽，所述夹紧齿轮与两个连接杆均位于凹槽内，所述放置槽的底部嵌设有压力传感器，用于辨别放置槽内是否放置有硅片。

进一步，两个所述夹块相互靠近的一侧粘接有软垫。

进一步，所述机架的上端面两端固设有对称设置的固定板，所述丝杠的两端分别与两个固定板转动连接，且输送电机安装在固定板上；两个所述固定板之间固设有两个导杆，两个所述导杆与丝杠平行且分别位于丝杠的两侧，所述导杆贯穿移动块且与移动块活动连接。

进一步，所述涂胶显影机还包括检测系统，所述检测系统主要包括设置在涂胶器一侧用于抓取涂布胶层后的硅片正面图像的检测装置、与检测装置输出端连接的分析模块和能够在发现硅片胶层涂布不良时发出报警的报警装置；所述检测装置的输出端通过控制器还与触摸屏连接，在触摸屏上显示硅片胶层的涂布情况。

本实用新型与现有技术相比较，具有以下有益效果：