[实用新型]一种用于固定晶棒对中的工装

权利要求书

1.一种用于固定晶棒对中的工装，其特征在于它包括固定盘、连接盘及自动升降装置，固定盘基板为四角倒角的方形板，倒角对角方向开设通道，以基板中心为准，在对角通道上设有2英寸固定孔及4英寸固定孔，在固定孔上安装带有穿孔的移动夹，移动夹内表面设置有一层防止移动夹磕伤晶棒的聚四氟乙烯高温布；拔销为可有效固定晶棒位置的圆形棒，由移动夹穿入固定孔内；圆环通道与对角通道相通，吸附孔位于圆环通道与对角通道之间，可有效增强对晶棒位置的固定；对中轴位于基板底部中心位置，连接盘为中心开有连接轴孔的方形板，在连接盘内部设有对应固定盘吸附孔的吸附装置，固定盘与连接盘组合的上体与下体结构相同，位置相对应且中心轴一致，自动升降装置位于一侧连接上体与下体。

2.根据权利要求1所述的一种用于固定晶棒对中的工装，其特征在于所述的移动夹可在对角通道内移动，固定孔的使用不限于2英寸及4英寸晶棒。

3.根据权利要求2所述的一种用于固定晶棒对中的工装，其特征在于所述的固定盘对中轴与外圆磨床的顶尖相匹配。

4.根据权利要求3所述的一种用于固定晶棒对中的工装，其特征在于所述的基板长度为180~280mm、宽度为180~280mm、高度为30~100mm、倒角半径为10~40mm；对角通道长度为230~330mm、宽度为10~20mm，圆环通道直径为40~100mm，固定孔直径为5~15mm，移动夹长度为10~20mm、高度为30~100mm，移动夹伸入通道内，内表面带有一层聚四氟乙烯高温布；拔销直径为5~15mm，拔销长度以能够伸入移动夹与固定孔内为准，吸附孔直径为5~10mm，在对角通道与圆环通道之间设有多个有序排列的吸附孔，对中轴为带倒角的倒圆台结构，上底面直径为30~60mm、与基板底部连接，下底面直径为20~40mm、高度为30~80mm、倒角半径为3~8mm。

5.根据权利要求4所述的一种用于固定晶棒对中的工装，其特征在于所述的连接盘长度为250~400mm、宽度为250~400mm、高度为50~200mm，连接轴孔与对中轴尺寸一致，内部吸附装置与吸附孔连接，置于连接盘内部。

6.根据权利要求5所述的一种用于固定晶棒对中的工装，其特征在于所述的自动升降装置安装在上下体一侧。