[实用新型]一种石墨盘

说明书

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种石墨盘，包括石墨大盘、设置在所述石墨大盘内的气道，以及用于放置晶片的石墨小盘，所述石墨小盘通过转轴设置于所述石墨大盘上，所述石墨大盘的上表面具有复数个凹槽，所述凹槽内具有气流阻挡件和气道口，所述石墨大盘由复数个大盘组件组成，所述大盘组件上的凹槽之间连通，所述大盘组件的其中一个凹槽的所述气道口与所述气道连通，以实现一条气道为多个凹槽提供气体，气体顺着所述气流阻挡件流动以驱动石墨小盘的转动。本实用新型的石墨盘通过增设凹槽并进行合理排布，多个凹槽之间的连通，减少气道的数量，大幅提升机台产能。

技术领域

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种石墨盘, 以生长更多外延片，提高产能，并降低备件损耗成本。

背景技术

LED外延晶圆（或外延片）一般是通过金属有机化合物气相沉积（Metal-organicChemical Vapor Deposition，简称MOCVD）获得，针对于LED领域的Aixtron G5系列机台，其反应室内部具有石墨盘,该石墨盘本身内部是设置有气道的，通过往气道中通入氮气和氢气，每个气道对应MFC控制气体流量，使安装在石墨盘上方的Satellite Disk旋转，配合石墨盘本身的旋转，从而使衬底均匀生长。

然而，随着LED行业的机台更新换代所对应的产能大幅提升，成本逐渐降低，每炉14片的产能及成本已经完全不能满足需求，同时，石墨盘某一位置损坏即需更换整个石墨盘，备件耗费成本高。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种石墨盘，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种石墨盘，包括石墨大盘、设置在所述石墨大盘内的气道，以及用于放置晶片的石墨小盘，所述石墨小盘通过转轴设置于所述石墨大盘上，所述石墨大盘的上表面具有复数个凹槽，所述凹槽内具有气流阻挡件和气道口，所述石墨大盘由复数个大盘组件组成，所述大盘组件上的凹槽之间连通，所述大盘组件的其中一个凹槽的所述气道口与所述气道连通，以实现一条气道为多个凹槽提供气体，气体顺着所述气流阻挡件流动以驱动石墨小盘的转动。

优选的，所述气流阻挡件呈螺旋状设置，所述气道口设置于气流阻挡件的内侧。

优选的，所述大盘组件上的凹槽设置有三个。

优选的，所述大盘组件上的凹槽呈三角状设置。

优选的，所述大盘组件之间通过卡槽或者螺栓连接。

优选的，所述石墨小盘包括底座和设置在所述底座上的盘盖，所述底座与所述盘盖之间设置晶片，所述盘盖内侧具有凸起部，所述凸起部能对所述晶片的圆周边缘施压。

优选的，所述凸起部为弧状。

优选的，所述石墨大盘的下表面具有复数个凹槽，所述凹槽内具有气流阻挡件和气道口，大盘组件上的凹槽之间连通，所述大盘组件的其中一个凹槽的所述气道口与所述气道连通。

优选的，还包括设置在所述石墨大盘底部的密封件，所述密封件包括圆底板和复数个设置在圆底板上的卡塞，所述卡塞相对于气道口的位置设置，所述卡塞插入气道口内。

优选的，所述卡塞为石墨卡塞。

本实用新型的有益效果如下：

1、在不影响机台抽气的前提下，将石墨大盘的外直径扩大，并通过增设凹槽的数量以及重新设计凹槽的排布，使得多个凹槽之间的连通，减少气道的数量，以实现一条气道为多个凹槽提供气体，大幅提升机台产能；

2、可拆卸的石墨大盘，采用多片拼接结构，使其在某一位置损坏时，只需更换单片即可，同时，石墨大盘的上表面和下表面均设置有凹槽且布局相同，使得石墨大盘可两面翻转使用，大幅降低备件消耗成本；