[实用新型]一种批量化硅片运送装置

权利要求书

1.一种批量化硅片运送装置，其特征在于，包括下框架，下框架通过若干组立柱进行支撑，下框架上设置有下部工作台面，下框架上配合设置有上框架，上框架上安装有上部工作台面；

所述下框架和上框架的侧面配合设置有纵向运送装置，纵向运送装置直接安装在下框架的下部工作台面上；

所述下部工作台面上设置有下部运送组件，所述上部工作台面上设置有上部运送组件；

所述下部运送组件和上部运送组件通过纵向运送装置连通；

所述下框架的四周还配合设置有护板。

2.根据权利要求1所述的一种批量化硅片运送装置，其特征在于：所述纵向运送装置包括纵向轨道，配合纵向轨道设置有驱动气缸组件，设置在纵向轨道和驱动气缸组件之间的放置台面，安装在放置台面上的运送组件以及放置在运送组件上的硅片放置装置；所述驱动气缸组件驱动放置台面在纵向轨道上进行上下移动。

3.根据权利要求2所述的一种批量化硅片运送装置，其特征在于：所述硅片放置装置包括盒体，斜向设置在盒体内的硅片放置部，相邻的硅片放置部之间间隔一段距离设置，每个硅片放置部中部位置均设置有用于固定硅片的硅片固定块；所述硅片放置部呈30°-70°设置。

4.根据权利要求1所述的一种批量化硅片运送装置，其特征在于：所述运送组件包括前侧转轮、后侧转轮，设置在前侧转轮和后侧转轮之间的输送带，输送带的外侧还配合设置有斜向凸起；所述斜向凸起角度呈30°-70°设置。

5.根据权利要求4所述的一种批量化硅片运送装置，其特征在于：所述斜向凸起采用橡胶材料制成。

6.根据权利要求3所述的一种批量化硅片运送装置，其特征在于：所述硅片固定块分别设置在硅片放置部的两侧位置，所述硅片固定块通过前后伸缩对硅片进行固定。

7.根据权利要求3或6所述的一种批量化硅片运送装置，其特征在于：所述硅片放置部的底部对应输送带的斜向凸起设置。