[实用新型]一种批量化硅片运送装置

说明书

本实用新型涉及硅片生产领域的一种批量化硅片运送装置，包括下框架，下框架通过若干组立柱进行支撑，下框架上设置有下部工作台面，下框架上配合设置有上框架，上框架上安装有上部工作台面；下框架和上框架的侧面配合设置有纵向运送装置，纵向运送装置直接安装在下框架的下部工作台面上；下部工作台面上设置有下部运送组件，上部工作台面上设置有上部运送组件；下部运送组件和上部运送组件通过纵向运送装置连通；下框架的四周还配合设置有护板；本实用新型自动化程度高，在实际运用的过程中能够节约使用的空间，提高工作效率，降低成本。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产领域，具体而言涉及一种硅片运送装置。

背景技术

传统的硅片生产流程是将周转箱中的硅片取出并放入片夹，它主要依赖人工完成，即通过人工将周转箱搬运至操作桌，再通过人工依次取出单位规格的硅片放入片夹中；首先，装有硅片的周转箱很重，操作人员在搬运周转箱时很容易受伤，且容易造成周转箱被摔，进而导致硅片受损；其次，因不熟悉硅片特性或疲劳等人为因素，操作人员在直接抓取硅片时，容易造成对硅片的损伤，人工操作效率低，这样工作方式产生的硅片成品良莠不齐，废片率高，需要耗费大量的时间和成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种批量化硅片运送装置，本实用新型自动化程度高，在实际运用的过程中能够节约使用的空间，提高工作效率，降低成本。

一种批量化硅片运送装置，包括下框架，下框架通过若干组立柱进行支撑，下框架上设置有下部工作台面，下框架上配合设置有上框架，上框架上安装有上部工作台面；

所述下框架和上框架的侧面配合设置有纵向运送装置，纵向运送装置直接安装在下框架的下部工作台面上；

所述下部工作台面上设置有下部运送组件，所述上部工作台面上设置有上部运送组件；

所述下部运送组件和上部运送组件通过纵向运送装置连通；

所述下框架的四周还配合设置有护板。

进一步的实施例中，为了保证放置台面能够正常稳定的进行上下滑动；所述纵向输送装置包括纵向轨道，配合纵向轨道设置有驱动气缸组件，设置在纵向轨道和驱动气缸组件之间的放置台面，安装在放置台面上的运送组件以及放置在运送组件上的硅片放置装置；所述驱动气缸组件驱动放置台面在纵向轨道上进行上下移动。

进一步的实施例中，为了保证硅片放置部能够稳定的放置硅片，而且便于输送出去；所述硅片放置装置包括盒体，斜向设置在盒体内的硅片放置部，相邻的硅片放置部之间间隔一段距离设置，每个硅片放置部中部位置均设置有用于固定硅片的硅片固定块；所述硅片放置部呈30°-70°设置。

进一步的实施例中，为了保证运送组件能够快速的运送硅片；所述运送组件包括前侧转轮、后侧转轮，设置在前侧转轮和后侧转轮之间的输送带，输送带的外侧还配合设置有斜向凸起；所述斜向凸起角度呈30°-70°设置。

进一步的实施例中，为了避免硅片在运送过程中损坏；所述斜向凸起采用橡胶材料制成。

进一步的实施例中，为了保证硅片能够稳定的被固定住；所述硅片固定块分别设置在硅片放置部的两侧位置，所述硅片固定块通过前后伸缩对硅片进行固定。

进一步的实施例中，为了保证输送带能够将硅片一片一片的快速输送出去；所述硅片放置部的底部对应输送带的斜向凸起设置。