[实用新型]镀膜组件及镀膜装置有效
| 申请号： | 202020393121.8 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN212404258U | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 吴婷婷;冯俊敏;张万财 | 申请（专利权）人： | 深圳市海瀚新能源技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 付兴奇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 组件 装置 | ||
1.一种镀膜组件，其特征在于，包括
第一辊；
第一冷却辊，所述第一冷却辊沿膜材的传送路径设置于所述第一辊的下游，所述第一冷却辊设置于膜材的上方，所述第一辊与所述第一冷却辊之间的膜材限定为悬浮膜材；以及
蒸发机构，所述蒸发机构设置于所述悬浮膜材和所述第一冷却辊的下方，且被配置为能够同时对至少部分所述悬浮膜材和部分贴合于所述第一冷却辊上的膜材进行镀膜。
2.根据权利要求1所述的镀膜组件，其特征在于，所述第一冷却辊的包角为30-330度。
3.根据权利要求1或2所述的镀膜组件，其特征在于，所述第一辊为展平辊或冷却辊，所述第一辊的包角为30-180度。
4.根据权利要求1所述的镀膜组件，其特征在于，所述悬浮膜材相对水平面倾斜设置，所述悬浮膜材靠近所述第一辊的一端的高度高于所述悬浮膜材靠近所述第一冷却辊的一端的高度。
5.根据权利要求4所述的镀膜组件，其特征在于，所述悬浮膜材相对水平面倾斜的角度为5-60度。
6.根据权利要求1所述的镀膜组件，其特征在于，所述悬浮膜材包括未镀膜区和第一镀膜区，所述蒸发机构贴合于所述第一冷却辊上的膜材的区域为第二镀膜区，所述第一辊、所述第一冷却辊和所述蒸发机构被配置为使所述第一镀膜区的膜材的长度和所述第二镀膜区的膜材的长度之和与所述未镀膜区的膜材长度的比值为1:9-3:7。
7.根据权利要求6所述的镀膜组件，其特征在于，所述第一镀膜区的膜材的长度与所述第二镀膜区的膜材的长度的比值为1:2-2:1。
8.根据权利要求1所述的镀膜组件，其特征在于，所述第一辊与所述第一冷却辊之间的膜材的长度为200-2000mm。
9.根据权利要求1或8所述的镀膜组件，其特征在于，还包括第二冷却辊，所述第一辊为展平辊，所述第一辊、所述第二冷却辊以及所述第一冷却辊沿所述传送路径依次设置。
10.一种镀膜装置，其特征在于，包括真空室、放卷机构、收卷机构以及如权利要求1至9任一项所述的镀膜组件，所述放卷机构、所述镀膜组件以及收卷机构沿所述传送路径依次设置于所述真空室的内部。
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