[实用新型]镀膜组件及镀膜装置

说明书

本申请提供了镀膜组件及镀膜装置，涉及镀膜技术领域。一种镀膜组件，包括第一辊、第一冷却辊和蒸发机构。第一冷却辊沿膜材的传送路径设置于第一辊的下游，第一冷却辊设置于膜材的上方，第一辊与第一冷却辊之间的膜材限定为悬浮膜材。蒸发机构设置于悬浮膜材和第一冷却辊的下方，且被配置为能够同时对至少部分悬浮膜材和部分贴合于第一冷却辊上的膜材进行镀膜。该镀膜组件使得沉积镀膜的膜材中，一部分膜材为悬浮状态，一部分为贴鼓状态，贴合于第一冷却辊上的膜材能够进行冷却，导出膜材的热量，有助于降低膜材的温度，避免膜材出现热损伤，同时能够提高镀膜的膜材的传热效率，提高沉积效率。

技术领域

本申请涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及镀膜组件及镀膜装置。

背景技术

随着真空镀膜技术的发展，柔性导电材料的生产工艺由真空镀膜逐步取代了传统的电镀、涂覆和化学处理方法，减少了传统工艺方法产生的污染，且拥有镀层纯度高、结合力好、均匀性好的优点。

市面上有两种类型的镀膜设备，一种是贴辊式蒸镀设备，另一种是悬浮式蒸镀设备。贴辊式蒸镀设备存在基材出现褶皱和镀空线的问题，悬浮式蒸镀设备存在传热差、沉积效率低的问题。

实用新型内容

本申请的目的在于提供镀膜组件及镀膜装置，以改善现有镀膜设备存在镀空线或传热差、沉积效率低的技术问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种镀膜组件，包括第一辊、第一冷却辊和蒸发机构。第一冷却辊沿膜材的传送路径设置于第一辊的下游，第一冷却辊设置于膜材的上方，第一辊与第一冷却辊之间的膜材限定为悬浮膜材。蒸发机构设置于悬浮膜材和第一冷却辊的下方，且被配置为能够同时对至少部分悬浮膜材和部分贴合于第一冷却辊上的膜材进行镀膜。

该镀膜组件使得沉积镀膜的膜材中，一部分膜材为悬浮状态，一部分为贴鼓状态，贴合于第一冷却辊上的膜材能够进行冷却，导出膜材的热量，有助于降低膜材的温度，避免膜材出现热损伤，同时能够提高镀膜的膜材的传热效率，提高沉积效率。

在一种可能的实现方式中，第一冷却辊的包角为30-330度。

蒸镀的膜材一部分为悬浮状态，一部分为贴鼓状态，使得膜材与第一冷却辊贴合的更紧，提高冷却效果。当第一冷却辊的包角为30-330度，该包角范围能够对膜材进行较好的冷却。

在一种可能的实现方式中，第一辊为展平辊或冷却辊，第一辊的包角为30-180度。

该包角范围有助于第一辊具有较好的展平或冷却效果，同时为了使得第一辊与第一冷却辊之间具有较优的配合作用。

在一种可能的实现方式中，悬浮膜材相对水平面倾斜设置，悬浮膜材靠近第一辊的一端的高度高于悬浮膜材靠近第一冷却辊的一端的高度。

该结构使得蒸发机构与第一蒸镀区的距离大于蒸发机构与第二蒸镀区的距离，即镀膜初始阶段的膜材与蒸发机构的距离较远，使得受到的蒸汽量较少，吸收的热量较少，形成的镀层较薄，能够蒸镀耐热性较差的膜材。随着膜材的运动，膜材与蒸发机构的距离逐渐减小，镀层的厚度逐渐增加至达到一定厚度，不会影响蒸镀效果。

在一种可能的实现方式中，悬浮膜材相对水平面倾斜的角度为5-60度。

该倾斜角度范围能够减少膜材在蒸镀前期吸收的热量，降低膜材受到热损伤的概率。

在一种可能的实现方式中，悬浮膜材包括未镀膜区和第一镀膜区，蒸发机构贴合于第一冷却辊上的膜材的区域为第二镀膜区，第一辊、第一冷却辊和蒸发机构被配置为使第一镀膜区的膜材的长度和第二镀膜区的膜材的长度之和与未镀膜区的膜材长度的比值为1:9-3:7。

在镀膜过程中，未镀膜区的预热的膜材长度、第一镀膜区的仅蒸镀的膜材长度以及第二镀膜区的蒸镀、冷却的膜材长度均会影响膜材的蒸镀效果。该长度比值范围能够使得膜材的预热阶段、蒸镀阶段和蒸镀、冷却阶段适宜，使得膜材的蒸镀效果较佳。