[实用新型]单晶炉掺杂装置

权利要求书

1.一种单晶炉掺杂装置，与单晶炉连通，以将掺杂剂输入至单晶炉内部，其特征在于：包括由上至下依次密封连接并连通的进料部、阻通部、出料部，出料部还与单晶炉密封连接并连通；进料部包括由上至下依次密封连接并连通的真空阀、第一法兰、第二法兰、料仓，料仓的入料口与第二法兰密封连接并连通，料仓的出料口与阻通部密封连接并连通；阻通部阻断进料部和出料部的气压，以保持出料部与单晶炉内部始终为真空状态，真空阀将料仓内部气压调节为常压，第一法兰与第二法兰拆卸分离，将料仓的入料口与外界连通，便于掺杂剂从料仓的入料口进入料仓的内部；第一法兰与第二法兰重新密封连接并连通，真空阀将料仓内部气压调节为真空，阻断部连通进料部和出料部，料仓内的掺杂剂受自身重力进入单晶炉内。

2.如权利要求1所述的单晶炉掺杂装置，其特征在于：所述阻通部包括管道、阀门，管道的一端与料仓的出料口连通，管道的另一端与出料部连通，阀门设置在管道上，以控制管道内气压和掺杂剂的阻通。

3.如权利要求2所述的单晶炉掺杂装置，其特征在于：所述出料部包括出料管，出料管的一端与管道的另一端密封连接并连通，出料管的另一端与单晶炉密封连接并连通。

4.如权利要求3所述的单晶炉掺杂装置，其特征在于：所述出料部还包括冷却组件，冷却组件围绕出料管设置并固定在出料管上；冷却组件包括依次连通的进水嘴、水冷管、出水嘴，冷却水通入进水嘴，并经过水冷管后从出水嘴通出，水冷管围绕出料管设置并与出料管的外壁接触，以通过水冷管降低出料管的温度，水冷管固定在出料管上。

5.如权利要求4所述的单晶炉掺杂装置，其特征在于：所述出水嘴与单晶炉的冷却管路连通。

6.如权利要求5所述的单晶炉掺杂装置，其特征在于：还包括第一法兰组，料仓的出料口与管道的一端通过第一法兰组密封连接并连通。

7.如权利要求6所述的单晶炉掺杂装置，其特征在于：还包括第二法兰组，管道的另一端与出料管的一端通过第二法兰组密封连接并连通。