[实用新型]单晶炉掺杂装置

说明书

一种单晶炉掺杂装置，涉及单晶炉部件技术领域，包括由上至下依次密封连接并连通的进料部、阻通部、出料部；进料部包括由上至下依次密封连接并连通的真空阀、第一法兰、第二法兰、料仓，料仓的入料口与第二法兰密封连接并连通，料仓的出料口与阻通部密封连接并连通。通过第一法兰和第二法兰的拆卸分离，料仓的入料口能够与外界连通，保证了本装置能够根据掺杂剂的实际需求不断添加，保证了在投掺过程中不会出现无掺杂剂可投的情况，进而保证不会因为投掺量的问题导致拉制出来的产品品质不合格。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉部件技术领域，具体涉及一种单晶炉掺杂装置。

背景技术

在半导体材料生长过程中，需要定时定量向半导体材料内部掺杂，掺杂包括轻掺和重掺两种，轻掺的杂质量较少，不需要辅助工具，而重掺的杂质量较多，需要辅助工具进行掺杂，单晶炉中的掺杂装置就是用来重掺使用的。现有的掺杂装置内部是提前预备好定量的掺杂剂，在半导体材料需要重掺时进行投掺，但是整个掺杂装置是密封的，在掺杂装置内部的掺杂剂投完后就会陷入无掺杂剂可投的窘境，导致拉制出来的产品品质不合格。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种掺杂剂不限量的单晶炉掺杂装置。

一种单晶炉掺杂装置，与单晶炉连通，以将掺杂剂输入至单晶炉内部，包括由上至下依次密封连接并连通的进料部、阻通部、出料部，出料部还与单晶炉密封连接并连通；进料部包括由上至下依次密封连接并连通的真空阀、第一法兰、第二法兰、料仓，料仓的入料口与第二法兰密封连接并连通，料仓的出料口与阻通部密封连接并连通；阻通部阻断进料部和出料部的气压，以保持出料部与单晶炉内部始终为真空状态，真空阀将料仓内部气压调节为常压，第一法兰与第二法兰拆卸分离，将料仓的入料口与外界连通，便于掺杂剂从料仓的入料口进入料仓的内部；第一法兰与第二法兰重新密封连接并连通，真空阀将料仓内部气压调节为真空，阻断部连通进料部和出料部，料仓内的掺杂剂受自身重力进入单晶炉内。

优选的，阻通部包括管道、阀门，管道的一端与料仓的出料口连通，管道的另一端与出料部连通，阀门设置在管道上，以控制管道内气压和掺杂剂的阻通。

优选的，出料部包括出料管，出料管的一端与管道的另一端密封连接并连通，出料管的另一端与单晶炉密封连接并连通。

优选的，出料部还包括冷却组件，冷却组件围绕出料管设置并固定在出料管上；冷却组件包括依次连通的进水嘴、水冷管、出水嘴，冷却水通入进水嘴，并经过水冷管后从出水嘴通出，水冷管围绕出料管设置并与出料管的外壁接触，以通过水冷管降低出料管的温度，水冷管固定在出料管上。

优选的，出水嘴与单晶炉的冷却管路连通。

优选的，单晶炉掺杂装置还包括第一法兰组，料仓的出料口与管道的一端通过第一法兰组密封连接并连通。

优选的，单晶炉掺杂装置还包括第二法兰组，管道的另一端与出料管的一端通过第二法兰组密封连接并连通。

本实用新型采用上述技术方案，其有益效果在于：通过第一法兰和第二法兰的拆卸分离，料仓的入料口能够与外界连通，保证了本装置能够根据掺杂剂的实际需求不断添加；真空阀的设置保证了第一法兰与第二法兰的顺利分离，并保证了在第一法兰与第二法兰重新密封连接后，将料仓内部调节为与出料部、单晶炉内部相同的真空状态；阻通部的设置保证了料仓内部的气压变化不会影响到出料部和单晶炉内部的气压状态，进而保证掺杂剂加入料仓内部的过程顺利进行。整个过程保证了在投掺过程中不会出现无掺杂剂可投的情况，进而保证不会因为投掺量的问题导致拉制出来的产品品质不合格。

附图说明

图1为单晶炉掺杂装置的结构示意图。

图2为进料部的结构示意图。

图3为出料部的结构示意图。