[实用新型]一种十字电极等离子体处理装置

权利要求书

1.一种十字电极等离子体处理装置，其特征在于，所述十字电极等离子体处理装置包括结构单元、电极单元及电极板组件，所述结构单元的结构形式是带托架(4)的腔体，用于承载电极单元和待处理的目标产品，所述电极单元的结构形式是呈十字交叉形式相互连接的电极条，用于承载电极板组件，电极板组件能够以不同连接方向与电极单元连接，所述电极板组件采用若干块相互平行布置的矩形板结构，正极板与负极板间隔布置，用于正负极之间放电产生等离子体。

2.如权利要求1所述十字电极等离子体处理装置，其特征在于，所述结构单元包括腔体、托架(4)，所述腔体包括真空腔(1)、前盖板、后盖板(2)、聚四氟板(3)，所述真空腔(1)设置于整个装置的外部，所述前盖板设置于所述真空腔(1)的前端，所述后盖板(2)设置于所述真空腔(1)的后端，所述电极单元设置于后盖板(2)上，所述聚四氟板(3)设置于所述真空腔(1)的四周内壁上，所述托架(4)与聚四氟板(3)的内壁连接。

3.如权利要求2所述十字电极等离子体处理装置，其特征在于，所述真空腔(1)采用正方形套筒的结构形式，所述聚四氟板(3)均采用机械连接的方式，通过若干个内六角圆柱头螺钉与真空腔(1)连接，聚四氟板(3)采用带有若干个凹槽的矩形板结构，所述凹槽的开槽方向与矩形长度方向一致，所述托架(4)的长边部分嵌入与其相互垂直的聚四氟板(3)。

4.如权利要求1所述十字电极等离子体处理装置，其特征在于，所述电极单元包括正极条(5)、负极条(6)、簧片(7)、负极绝缘板(8)、正极条横盖板(9)、正极条横垫板(10)、正极条竖盖板(11)、正极条竖垫板(12)、电极端部盖板(13)、负极托架(14)、电极柱(15)、正极绝缘套(16)；所述正极条(5)相互之间呈“十”字型连接，所述负极条(6)相互之间呈“十”字型连接，正极条(5)和负极条(6)之间两两连接且相互垂直布置；所述簧片(7)设置于正极条(5)和负极条(6)内部，所述负极绝缘板(8)设置于正极条(5)与负极条(6)的连接处，所述正极条横盖板(9)、正极条竖盖板(11)设置于正极条(5)上方，所述正极条横垫板(10)、正极条竖垫板(12)设置于正极条(5)下方；所述电极端部盖板(13)分别设置于正极条(5)两侧，所述负极托架(14)一端与负极条(6)连接，一端与后盖板(2)连接，所述电极柱(15)一端穿过正极绝缘套(16)与正极条(5)连接，一端通过高频电缆与高频高压电源连接。

5.如权利要求4所述十字电极等离子体处理装置，其特征在于，所述电极条之间采用机械连接的方式，通过设置于交叉处的内六角圆柱头螺钉和螺纹孔定位锁止；所述电极条采用带有若干个凹槽的长方体结构，所述凹槽贯通长方体表面，凹槽开槽方向与横截面方向一致，在电极条交叉处设置有贯通长方体表面的凹槽，凹槽开槽方向与横截面方向一致，在凹槽底面设置有螺纹孔，所述簧片(7)由簧片压板和簧片夹爪组成，所述簧片压板采用带有螺纹孔的矩形板结构，簧片夹爪底部设置有圆孔，所述圆孔形状与簧片压板上的螺纹孔的直径相同。

6.如权利要求5所述十字电极等离子体处理装置，其特征在于，所述负极绝缘板(8)采用带有两侧贯通凹槽的长方体结构，其凹槽形状与负极条(6)横截面形状相适配，所述正极条横盖板(9)和正极条竖盖板(11)采用带有两侧贯通凹槽的长方体结构，其凹槽侧壁为台阶形结构，所述正极条横垫板(10)、正极条竖垫板(12)采用中间带有凹槽的长方体结构，所述凹槽的形状与正极条(5)的形状相适配，长方体结构的两端各设置一个带螺纹孔的连接构件和若干个螺纹孔，内六角圆柱头螺钉从所述带螺纹孔的连接构件穿过与后盖板(2)连接，所述电极端部盖板(13)采用带有一个缺口的矩形板结构，所述电极端部盖板(13)上设置有若干个螺纹孔，所述负极托架(14)内部设置有螺纹孔，采用机械连接的方式，通过内六角圆柱头螺钉分别与负极条(6)和后盖板(2)连接。