[实用新型]一种十字电极等离子体处理装置

说明书

本实用新型公开了一种十字电极等离子体处理装置，所述十字电极等离子体处理装置包括结构单元、电极单元及电极板组件，所述结构单元是带托架的腔体，用于承载电极单元和待处理的目标产品，所述电极单元是呈十字交叉形式相互连接的电极条，用于承载电极板组件，所述电极板组件采用若干块间隔布置的电极板，用于正负极之间放电产生等离子体。本实用新型的装置根据目标产品的特性及其对放置方式的要求来调整电极板的连接方向，在低压状态下，电极板之间产生稳定辉光放电，产生等离子体穿过目标产品，进而完成处理。本实用新型的装置利用十字电极结构的特殊性改变电极板的连接方向，使得本装置既能处理水平放置的产品，又能处理竖直放置的产品。

技术领域

本实用新型涉及等离子体处理的技术领域，具体地说是一种十字电极等离子体处理装置。

背景技术

随着高性能结构材料技术和先进材料加工技术的快速发展，人们对材料的韧性和刚性、环保性、循环利用性和使用寿命等提出了更高的要求。因此，通过对材料表面处理来改变材料表面的形态、化学成分、组织结构等性质以提高材料各方面性能的技术在近年来得到了迅速发展。在物理处理、化学处理和机械处理等众多表面处理方法中，等离子体表面处理技术因其清洁高效、能耗低、无废弃物等优点而快速发展。目前，针对不同的产业应用，不同条件下的等离子体处理技术已经出现明显分工，需要连续处理的大面积天然或合成材料一般采用常压等离子体进行处理，半导体、生物医用材料等一般采用低压等离子体进行处理。

针对采用低压等离子体进行处理的产品，处理装置中的电极通过高频电缆与高频高压电源连接，以实现在低压条件下的稳定辉光放电，从而产生等离子体对目标产品进行处理。

中国专利(CN201210021690.X)公开了一种针式阵列常温常压等离子体发生装置及其使用方法，该装置等离子体发生电极由成对的针式阵列极板构成，所述针式阵列极板由若干根金属针按几何阵列垂直安装在金属平板上，且金属针和金属平板均涂覆非极性绝缘材料，成对的针式阵列正极板与针式阵列负极板的金属针相对且错位嵌入组装，该针式阵列常温常压等离子体发生装置的正极板通过高频电缆与高频高压电源连接。该种装置虽然能够整体组装在任何一个密闭空间内，但是在组装完成后各构件的相对位置固定，只能采取一种放置方式对目标产品进行等离子体处理。

因此，如何提供一种等离子体处理装置，在现有的等离子体处理装置的基础上，通过改变各构件之间的相互位置关系，能够根据目标产品的特点提供不同的放置方式，通过一个装置实现对多种目标产品提供等离子体处理，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种十字电极等离子体处理装置，采用十字电极与高频高压电源连接，利用十字电极结构的特殊性改变电极板的连接方向，使得本装置既能处理水平方向放置的目标产品，又能处理竖直方向放置的目标产品，进而达到提高等离子体处理装置的适用性、节约客户采购成本等技术效果。

为了达到上述目的，本申请提供如下技术方案。

一种十字电极等离子体处理装置，包括结构单元、电极单元及电极板组件，所述结构单元的结构形式是带托架的腔体，用于承载电极单元和待处理的目标产品，所述电极单元的结构形式是呈十字交叉形式相互连接的电极条，用于承载电极板组件，电极板组件能够以不同连接方向与电极单元连接，所述电极板组件采用若干块相互平行布置的矩形板结构，正极板与负极板间隔布置，用于正负极之间放电产生等离子体；

所述结构单元，其包括腔体、托架，所述腔体包括真空腔、前盖板、后盖板、聚四氟板，所述真空腔设置于整个装置的外部，所述前盖板设置于所述真空腔的前端，与真空腔连接，所述后盖板设置于所述真空腔的后端，与真空腔连接，所述电极单元设置于后盖板上，所述聚四氟板设置于所述真空腔的四周内壁上，所述托架与聚四氟板的内壁连接；