[实用新型]一种MEMS麦克风封装机构

权利要求书

1.一种MEMS麦克风封装机构，包括金属座(1)、壳体(2)、MEMS芯片(3)、气孔(4)、容腔(5)和防护装置(6)，其特征在于，所述金属座(1)的顶部固定安装有壳体(2)，所述金属座(1)的上表面中部固定安装有MEMS芯片(3)，所述壳体(2)的顶部中端开设有气孔(4)，所述壳体(2)的内部设有容腔(5)，所述容腔(5)内顶部安装有防护装置(6)；

所述防护装置(6)包括固定板(601)，所述固定板(601)固定安装在容腔(5)内顶部两侧，所述固定板(601)的右侧活动连接有活动杆(602)，所述活动杆(602)的底端活动连接有透气层(603)，所述透气层(603)的底部连通有通风槽(604)，所述通风槽(604)的底部连通有通风弯管(605)，所述固定板(601)相对于活动杆(602)的左侧活动连接有第一缓冲弹簧(606)，所述活动杆(602)的顶端固定安装有限位块(607)，所述活动杆(602)的顶部圆周上套设有第二缓冲弹簧(608)，所述固定板(601)相对于第一缓冲弹簧(606)的内侧活动连接有折射板(609)，所述折射板(609)的上表面喷涂有吸光层(610)。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风封装机构，其特征在于，所述气孔(4)开设在MEMS芯片(3)的正上方，且金属座(1)与壳体(2)之间形成容腔(5)。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风封装机构，其特征在于，所述固定板(601)固定安装在气孔(4)的底部两侧，且固定板(601)的顶部固定连接有壳体(2)。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风封装机构，其特征在于，所述活动杆(602)贯穿并活动连接有壳体(2)，且第二缓冲弹簧(608)的底部活动连接在壳体(2)的顶部。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风封装机构，其特征在于，所述第一缓冲弹簧(606)的顶部活动连接有固定板(601)，第一缓冲弹簧(606)的底部活动连接有透气层(603)，第一缓冲弹簧(606)的数量为两个，对称安装在气孔(4)底部两侧。

6.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风封装机构，其特征在于，所述通风弯管(605)的数量为若干个，且每个通风弯管(605)的出风端均倾斜设置。