[实用新型]单晶炉增氧加热器有效
申请号: | 202020424415.2 | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN212077196U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 闫龙;魏兴彤;王忠宝 | 申请(专利权)人: | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/02;C30B29/06 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 孙彦虎 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉增氧 加热器 | ||
1.一种单晶炉增氧加热器,将石英坩埚中的氧溶解出来,形状为两端敞开的筒状,其特征在于:包括由上至下固定连接的标准段、增氧段,标准段和增氧段的内径相同,标准段的外径大于增氧段的外径,增氧段的外径为552mm,以使增氧段的电阻增大,从而增大单晶炉增氧加热器整体的热量,进而加快石英坩埚中氧的溶解反应,提高氧的溶解量。
2.如权利要求1所述的单晶炉增氧加热器,其特征在于:所述标准段与增氧段的长度和为石英坩埚长度的1.6~1.8倍。
3.如权利要求2所述的单晶炉增氧加热器,其特征在于:所述增氧段的长度为150mm。
4.如权利要求3所述的单晶炉增氧加热器,其特征在于:所述标准段的长度为297mm。
5.如权利要求4所述的单晶炉增氧加热器,其特征在于:所述标准段和增氧段的内径为516mm。
6.如权利要求5所述的单晶炉增氧加热器,其特征在于:所述标准段的外径为566±7mm。
7.如权利要求1~6任一所述的单晶炉增氧加热器,其特征在于:还包括连接脚。
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