[实用新型]单晶炉增氧加热器

说明书

一种单晶炉增氧加热器，涉及单晶炉部件技术领域，将石英坩埚中的氧溶解出来，形状为两端敞开的筒状，包括由上至下固定连接的标准段、增氧段，标准段和增氧段的内径相同，标准段的外径大于增氧段的外径，增氧段的外径相对于传统加热器的外径缩小，根据电阻=电阻率×长度/横截面积的公式，在增氧加热器的电阻率和长度不能改变的情况下，改变横截面积，增大电阻值，以增大增氧加热器的发热量，使得加热器的且温区增大，进而使得石英坩埚底部受加热器辐射的热量多，氧的溶解反应加快，增加晶棒尾部的氧含量，相比于传统加热器，在固定时间内增加了氧的溶解量。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉部件技术领域，具体涉及一种单晶炉增氧加热器。

背景技术

加热器是热场的核心部件，主要提供单晶生长所需的热量，用于加热溶解石英坩埚中的氧，氧是单晶硅中重要的一种杂质，在CZ拉晶中，氧通过石英坩埚的溶解进入到熔硅中，氧含量对硅片的内吸杂能力，硅片的机械强度及电阻率（热施主效应）都有很大的影响。

目前重掺锑产品要求高氧含量，范围在10-18ppma，但是，锑单晶中氧沉积受抑制，氧分布从头至尾递减，而传统加热器的加热中心在加热器的中心位置且温区较短，石英坩埚底部受加热器辐射的热量少，氧的溶解反应慢，导致晶棒尾部的氧含量低于标准，因此，在固定时间内增加氧的溶解量是急需解决的问题。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种增加氧的溶解反应的单晶炉增氧加热器。

一种单晶炉增氧加热器，将石英坩埚中的氧溶解出来，形状为两端敞开的筒状，包括由上至下固定连接的标准段、增氧段，标准段和增氧段的内径相同，标准段的外径大于增氧段的外径，增氧段的外径为552mm，以使增氧段的电阻增大，从而增大单晶炉增氧加热器整体的热量，进而加快石英坩埚中氧的溶解反应，提高氧的溶解量。

优选的，标准段与增氧段的长度和为石英坩埚长度的1.6~1.8倍。

优选的，增氧段的长度为150mm。

优选的，标准段的长度为297mm。

优选的，标准段和增氧段的内径为516mm。

优选的，标准段的外径为566±7mm。

优选的，单晶炉增氧加热器还包括连接脚。

本实用新型采用上述技术方案，其有益效果在于：增氧段的外径相对于传统加热器的外径缩小，根据电阻=电阻率×长度/横截面积的公式，在单晶炉增氧加热器的电阻率和长度不能改变的情况下，改变横截面积，增大电阻值，以增大单晶炉增氧加热器的发热量，使得加热器的且温区增大，进而使得石英坩埚底部受加热器辐射的热量多，氧的溶解反应加快，增加晶棒尾部的氧含量，相比于传统加热器，在固定时间内增加了氧的溶解量。

附图说明

图1为单晶炉增氧加热器的结构示意图。

图2为单晶炉增氧加热器另一个角度的结构示意图。

图3为图2中一个角度的结构示意图。

图中：单晶炉增氧加热器10、标准段20、增氧段30、连接脚40、缝隙50。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。