[实用新型]真空泵有效
申请号: | 202020426232.4 | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN212640602U | 公开(公告)日: | 2021-03-02 |
发明(设计)人: | 顾崇诚 | 申请(专利权)人: | 信强(宁波)半导体设备制造有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C16/54 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 骆希聪 |
地址: | 315480 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空泵 | ||
1.一种真空泵,其特征在于,该真空泵包括:
一汽缸,其中该汽缸包括一汽缸壁;
两转子,该两转子设于该汽缸,该两转子皆包括:
一爪部;
一凹陷部,设于该爪部并与该汽缸壁形成一闪避空间;
一旋转驱动结构,包括:
一槽体;
两磁性旋转柱,其是位于该槽体内并分别与该两转子枢接;
多个磁性柱,各该磁性柱皆包括一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及一第二侧边,其中各该磁性柱分散设置并与该槽体以该第一连接端连接,且该第二连接端环绕该两磁性旋转柱;以及
多个电磁线圈,各该电磁线圈是分散设于各该第一侧边及各该第二侧边并紧靠该槽体。
2.如权利要求1所述的真空泵,其特征在于,该爪部包括一第一外缘面以及一第二外缘面,该凹陷部设于该第一外缘面与该第二外缘面之间,其中该凹陷部包括一深度h,该深度h0.1mm,该凹陷部包括一底面,其中该深度h为该底面与该汽缸壁间的距离。
3.如权利要求2所述的真空泵,其特征在于,该第一外缘面以及该第二外缘面的面积分别占该爪部的爪面截面积的5%~50%。
4.如权利要求3所述的真空泵,其特征在于,该第一外缘面以及该第二外缘面的面积分别占该爪部的爪面截面积的10%~30%。
5.如权利要求2所述的真空泵,其特征在于,该两磁性旋转柱皆包括一主体和多个磁性件,各该磁性件分散设置于该主体。
6.如权利要求5所述的真空泵,其特征在于,各个磁性旋转柱更包括一转轴,该转轴设于该主体内,且各该磁性件分散并以该转轴为圆心以相隔度设置于该转轴的四周。
7.如权利要求6所述的真空泵,其特征在于,任两个相邻的磁性件具有相反的磁极。
8.如权利要求7所述的真空泵,其特征在于,该槽体更包括多个内侧壁面,各该第一连接端连接该多个内侧壁面,其中该多个内侧壁面呈现为平坦的表面。
9.如权利要求8所述的真空泵,其特征在于,至少一内侧壁面包括一延伸柱,其中该多个磁性柱的其中至少一磁性柱连接该延伸柱。
10.如权利要求1所述的真空泵,其特征在于,该多个磁性柱的数目为二十四个,且其中的十二个该磁性柱以该两磁性旋转柱的其中一为中心呈放射状排列,且此该十二个磁性柱的该第二连接端以该两磁性旋转柱的其中一形成一旋转区。
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