[实用新型]真空泵有效
申请号: | 202020426232.4 | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN212640602U | 公开(公告)日: | 2021-03-02 |
发明(设计)人: | 顾崇诚 | 申请(专利权)人: | 信强(宁波)半导体设备制造有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C16/54 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 骆希聪 |
地址: | 315480 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空泵 | ||
本实用新型公开一种真空泵包括二个转子、汽缸以及旋转驱动结构。该汽缸包括一汽缸壁。该两转子设于该汽缸,该两转子皆包括爪部与凹陷部,凹陷部设于爪部并与汽缸壁形成一闪避空间。旋转驱动结构包括一槽体、多个磁性柱、二个磁性旋转柱和多个电磁线圈。二个磁性旋转柱位于槽体内并分别与两转子枢接。各磁性柱皆包括一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及一第二侧边,其中各磁性柱分散设置并与槽体以第一连接端连接,且第二连接端环绕两磁性旋转柱。各电磁线圈是分散设各第一侧边及各第二侧边并紧靠槽体。
技术领域
本实用新型关于一种真空泵,特别是一种能与汽缸壁形成一闪避空间以改善爪形转子运转时气体异物沉积并通过均匀的磁力线而驱动泵的转子旋转及通过均匀的磁力线而驱动泵的转子旋转的真空泵。
背景技术
现有用于真空泵的爪形转子运转时,因为爪形转子的爪部与真空泵汽缸之间多为紧密配合,故两者间没有多余的空间可以容纳真空泵运转时空气中所夹杂的异物,而因为气流带动,这类异物大多会卡在爪部与真空泵汽缸壁之间,造成爪部被异物卡入而无法转动的情况发生,在使用上有改进的必要。真空泵是将气体从容器内排出,使容器内形成负压的泵。一般的真空泵具有十二只磁性柱、一对磁性旋转轴和一对转子。十二只磁性柱环绕该对磁性旋转轴,并通过磁力而驱使磁性旋转轴同步反向旋转。当该对磁性旋转轴同步反向旋转时,会带动转子一起同步反向旋转,以将气体排出。然而,十二只磁性柱所形成的磁力线较不均匀,且密度较稀疏,因此会造成磁性旋转轴偶尔无法平稳转动。因此,有必要提供一种新的旋转趋动结构,以改变上述问题。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是在提供一种通过均匀的磁力线而驱动泵的转子旋转的真空泵。
本实用新型的另一主要目的在提供一种能与汽缸壁形成一闪避空间以改善爪形转子运转时气体异物沉积的真空泵
为达成上述的目的,本实用新型的真空泵包括二个转子、汽缸以及旋转驱动结构。汽缸,其中该汽缸包括一汽缸壁。两转子,该两转子设于该汽缸,该两转子皆包括爪部与凹陷部,凹陷部设于爪部并与汽缸壁形成一闪避空间。旋转驱动结构包括一槽体、多个磁性柱、二个磁性旋转柱和多个电磁线圈。二个磁性旋转柱位于槽体内并分别与两转子枢接。各磁性柱皆包括一第一连接端、一第二连接端、一第一侧边以及一第二侧边,其中各磁性柱分散设置并与槽体以第一连接端连接,且第二连接端环绕两磁性旋转柱。各电磁线圈是分散设各第一侧边及各第二侧边并紧靠槽体。
在本实用新型的一实施例中,该爪部包括一第一外缘面以及一第二外缘面,该凹陷部设于该第一外缘面与该第二外缘面之间,其中该凹陷部包括一深度h,该深度h0.1mm,其特征在于,该凹陷部包括一底面,其中该深度h为该底面与该汽缸壁间的距离。
在本实用新型的一实施例中,该第一外缘面以及该第二外缘面的面积分别占该爪部的爪面截面积的5%~50%。
在本实用新型的一实施例中,该第一外缘面以及该第二外缘面的面积分别占该爪部的爪面截面积的10%~30%。
在本实用新型的一实施例中,该两磁性旋转柱皆包括一主体和多个磁性件,各该磁性件分散设置于该主体。
在本实用新型的一实施例中,各个磁性旋转柱更包括一转轴,该转轴设于该主体内,且各该磁性件分散并以该转轴为圆心以相隔度设置于该转轴的四周。
在本实用新型的一实施例中,任两个相邻的磁性件具有相反的磁极。
在本实用新型的一实施例中,该槽体更包括多个内侧壁面,各该第一连接端连接该多个内侧壁面,其中该多个内侧壁面呈现为平坦的表面。
在本实用新型的一实施例中,至少一内侧壁面包括一延伸柱,其中该多个磁性柱的其中至少一磁性柱连接该延伸柱。
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