[实用新型]一种新型单晶炉

权利要求书

1.一种新型单晶炉，包括单晶炉体(1)、石英坩埚(2)、石墨坩埚托(3)、石墨加热器(4)和底座(5)，其特征在于：所述石英坩埚(2)放置在石墨坩埚托(3)内，石墨坩埚托(3)底部设置有坩埚托轴(6)，所述石墨加热器(4)位石墨坩埚托(3)外侧，且石墨加热器(4)的底端固定在单晶炉体(1)的内壁底部，所述单晶炉体(1)的顶部设置有附炉室(7)，附炉室(7)与单晶炉体(1)内部连通，所述附炉室(7)的侧壁上设置有进气管(8)和排气管(9)，进气管(8)的输出端、排气管(9)的输入端均与附炉室(7)内连通，所述进气管(8)上设置有输气泵(10)、电子阀门、气体流量计(11)，进气管(8)的输入端上设置有储气箱(12)，储气箱(12)的输入端与排气管(9)的输出端连通，所述储气箱(12)的侧壁上设置有压缩机(13)，储气箱(12)内设置有冷凝管(14)，冷凝管(14)与压缩机(13)连接，单晶炉体(1)、储气箱(12)通过支杆组固定在所述底座(5)上。

2.根据权利要求1所述的新型单晶炉，其特征在于：所述单晶炉体(1)的底部设置有清洁口(15)，清洁口(15)上盖装有炉底护盘(16)。

3.根据权利要求2所述的新型单晶炉，其特征在于：所述炉底护盘(16)底部两端对称设置有液压臂(17)，液压臂(17)可伸缩端固定在炉底护盘(16)的底部，液压臂(17)的固定端固定在所述底座(5)上。

4.根据权利要求2所述的新型单晶炉，其特征在于：所述底座(5)上设置有变频电机(18)，所述坩埚托轴(6)的底端穿过炉底护盘(16)固定在变频电机(18)的输出端上，且坩埚托轴(6)与炉底护盘(16)活动连接。

5.根据权利要求4所述的新型单晶炉，其特征在于：所述坩埚托轴(6)与所述炉底护盘(16)之间采用密封圈密封处理。

6.根据权利要求1所述的新型单晶炉，其特征在于：所述石墨加热器(4)与单晶炉体(1)内壁之间设置有保温筒(19)。

7.根据权利要求1所述的新型单晶炉，其特征在于：所述单晶炉体(1)的侧壁的底部设置有空气排出管(20)，空气排出管(20)上设置有电子阀，空气排出管(20)的输入端与单晶炉体(1)内部连通。

8.根据权利要求1所述的新型单晶炉，其特征在于：所述石墨加热器(4)伸出单晶炉体(1)的端部连接有电极(21)。