[实用新型]一种新型单晶炉

说明书

本实用新型涉及一种新型单晶炉，包括单晶炉体、石英坩埚、石墨坩埚托、石墨加热器和底座，所述石英坩埚放置在石墨坩埚托内，石墨坩埚托底部设置有坩埚托轴，所述石墨加热器位石墨坩埚托外侧，所述单晶炉体的顶部设置有附炉室，所述附炉室的侧壁上设置有进气管和排气管，所述进气管上设置有输气泵、电子阀门、气体流量计，进气管的输入端上设置有储气箱，储气箱的输入端与排气管的输出端连通，所述储气箱的侧壁上设置有压缩机，储气箱内设置有冷凝管，冷凝管与压缩机连接。输气泵、储气箱的设计，可使惰性气体重复利用，节约制造成本保护环境；储气箱上压缩机和冷凝管的设计，可缩短停炉冷却时间，从而提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉的技术领域，更具体地说，涉及一种新型单晶炉。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。多晶体硅料经加热熔化，待温度合适后。经过籽晶浸入，熔接，引晶，放肩，转肩，等经，收尾等步骤，完成一根单晶锭的拉制。在生产制备过程中，在收尾完成后停炉6个小时左右的时间进行拆炉，取出晶体，对炉内的挥发物进行清除，并用酒精擦洗。

目前，制备过程中惰性气体一般在停炉后直接外排，无回收装置，造成了极大浪费，增加了生产成本且污染环境；且停炉后一般是自然冷却后再取晶体，虽然操作简单，但自然冷却时间较长，降低了生产效率。本实用新型针对以上问题提出了一种新的解决方案。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种新型单晶炉，以解决背景技术中所提出的技术问题。

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种新型单晶炉，包括单晶炉体、石英坩埚、石墨坩埚托、石墨加热器和底座，所述石英坩埚放置在石墨坩埚托内，石墨坩埚托底部设置有坩埚托轴，所述石墨加热器位石墨坩埚托外侧，且石墨加热器的底端固定在单晶炉体的内壁底部，所述单晶炉体的顶部设置有附炉室，附炉室与单晶炉体内部连通，所述附炉室的侧壁上设置有进气管和排气管，进气管的输出端、排气管的输入端均与附炉室内连通，所述进气管上设置有输气泵、电子阀门、气体流量计，进气管的输入端上设置有储气箱，储气箱的输入端与排气管的输出端连通，所述储气箱的侧壁上设置有压缩机，储气箱内设置有冷凝管，冷凝管与压缩机连接，单晶炉体、储气箱通过支杆组固定在所述底座上。

优选的是，所述单晶炉体的底部设置有清洁口，清洁口上盖装有炉底护盘。

在上述任一方案中优选的是，所述炉底护盘底部两端对称设置有液压臂，液压臂可伸缩端固定在炉底护盘的底部，液压臂的固定端固定在所述底座上。

在上述任一方案中优选的是，所述底座上设置有变频电机，所述坩埚托轴的底端穿过炉底护盘固定在变频电机的输出端上，且坩埚托轴与炉底护盘活动连接。

在上述任一方案中优选的是，所述坩埚托轴与所述炉底护盘之间采用密封圈密封处理。

在上述任一方案中优选的是，所述石墨加热器与单晶炉体内壁之间设置有保温筒。

在上述任一方案中优选的是，所述单晶炉体的侧壁的底部设置有空气排出管，空气排出管上设置有电子阀，空气排出管的输入端与单晶炉体内部连通。

在上述任一方案中优选的是，所述石墨加热器伸出单晶炉体的端部连接有电极。

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：