[实用新型]一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统

权利要求书

1.一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统，所述半导体设备机台内设有气缸，所述气缸包括缸体和活塞杆，其特征在于，所述系统包括：

感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，所述感应片固定在所述活塞杆的顶部侧壁上，所述感应器安装在所述安装支架上，所述安装支架经所述位置调节机构与所述缸体的顶部端面相连接，所述位置调节机构用于调节所述感应器相对于所述缸体的位置，其中，当所述活塞杆下降到位后，所述感应器的位置与所述感应片的位置相对应；

报警单元，安装在所述半导体设备机台上；

控制器，分别与所述气缸和感应器相连接，所述控制器还经常闭继电器与所述报警单元相连接。

2.如权利要求1所述的半导体设备机台气缸的升降侦测系统，其特征在于，所述位置调节机构包括固定板、滑动板、调节螺柱、螺套、弹簧、螺纹杆、上调节螺母和下锁紧螺母；

所述固定板固定在所述缸体的顶部端面上，所述滑动板滑动地设置在所述缸体的顶部端面上，且位于所述固定板的内侧，所述调节螺柱的一端固定在所述滑动板的侧壁上，所述调节螺柱的另一端穿过固定板后与所述螺套螺纹连接，所述弹簧套设在所述调节螺柱上，且位于所述固定板和滑动板之间；

所述固定板的上部前后方向设有贯穿的调节孔，所述调节孔的顶部具有条形开口；

所述螺纹杆竖直地设置在所述安装支架的底部，所述上调节螺母和下锁紧螺母分别螺纹套设在所述螺纹杆上，且所述上调节螺母和下锁紧螺母分别位于所述条形开口的上下两侧。

3.如权利要求1所述的半导体设备机台气缸的升降侦测系统，其特征在于，所述报警单元包括报警灯和蜂鸣器。

4.如权利要求1所述的半导体设备机台气缸的升降侦测系统，其特征在于，所述半导体设备机台的底部设置有行走轮。