[实用新型]一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统

说明书

本实用新型公开了一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统，半导体设备机台内设有气缸，气缸包括缸体和活塞杆，系统包括：感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，感应片固定在活塞杆的顶部侧壁上，感应器安装在安装支架上，安装支架经位置调节机构与缸体的顶部端面相连接；报警单元，安装在半导体设备机台上；控制器，分别与气缸和感应器相连接，控制器还经常闭继电器与报警单元相连接。本实用新型能准确高效地侦测气缸的实际动作的作用；并且，避免了感应器存在故障或一直保持同一状态导致的失效风险；同时，当侦测系统断电或者程序故障，常闭继电器会断开，使报警单元立刻发出警报，从而有效地提高了保护效果。

技术领域

本实用新型涉及气缸技术领域，尤其涉及一种半导体设备机台气缸的升降侦测系统。

背景技术

现有技术中，一般在半导体设备机台气缸上加装侦测系统来检测气缸的升降信号和气缸实际动作，当侦测系统接受到半导体设备机台发出的升降信号后，再延时检测感应器的感应信号，判断气缸实际动作是否到位，如果设定时间内，未侦测到感应器的感应信号,则通知半导体设备机台发出警报，现有的侦测系统存在以下两点不足：1)、假如感应器存在故障，一直保持同一状态，这样侦测系统存在失效风险。2)、假如侦测系统断电，同样不能起到保护作用。

实用新型内容

本实用新型主要是解决现有技术中所存在的技术问题，从而提供一种降低失效风险，提高保护效果的半导体设备机台气缸的升降侦测系统。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

本实用新型提供的半导体设备机台气缸的升降侦测系统，所述半导体设备机台内设有气缸，所述气缸包括缸体和活塞杆，所述系统包括：

感应单元，包括感应片、感应器、安装支架和位置调节机构，所述感应片固定在所述活塞杆的顶部侧壁上，所述感应器安装在所述安装支架上，所述安装支架经所述位置调节机构与所述缸体的顶部端面相连接，所述位置调节机构用于调节所述感应器相对于所述缸体的位置，其中，当所述活塞杆下降到位后，所述感应器的位置与所述感应片的位置相对应；

报警单元，安装在所述半导体设备机台上；

控制器，分别与所述气缸和感应器相连接，所述控制器还经常闭继电器与所述报警单元相连接。

进一步地，所述位置调节机构包括固定板、滑动板、调节螺柱、螺套、弹簧、螺纹杆、上调节螺母和下锁紧螺母；

所述固定板固定在所述缸体的顶部端面上，所述滑动板滑动地设置在所述缸体的顶部端面上，且位于所述固定板的内侧，所述调节螺柱的一端固定在所述滑动板的侧壁上，所述调节螺柱的另一端穿过固定板后与所述螺套螺纹连接，所述弹簧套设在所述调节螺柱上，且位于所述固定板和滑动板之间；

所述固定板的上部前后方向设有贯穿的调节孔，所述调节孔的顶部具有条形开口；

所述螺纹杆竖直地设置在所述安装支架的底部，所述上调节螺母和下锁紧螺母分别螺纹套设在所述螺纹杆上，且所述上调节螺母和下锁紧螺母分别位于所述条形开口的上下两侧。

进一步地，所述报警单元包括报警灯和蜂鸣器。

进一步地，所述半导体设备机台的底部设置有行走轮。

本实用新型的有益效果在于：通过位置调节机构方便快捷地调节感应器相对于缸体的位置，使感应器能与活塞杆的顶部侧壁上的感应片进行精确地感应配合，其起到准确高效地侦测气缸的实际动作的作用；并且，每次控制器发出气缸的升降信号时，控制器还可以分别侦测对应感应器的状态是否正确、是否进行了状态切换，从而避免了感应器存在故障或一直保持同一状态导致的失效风险；同时，通过增加常闭继电器，当侦测系统断电或者程序故障，常闭继电器会断开，使报警单元立刻发出警报，从而有效地提高了保护效果。

附图说明