[实用新型]多个方片式衬底用工艺夹具

权利要求书

1.一种多个方片式衬底用工艺夹具，其特征是：包括能同时收纳多个方片衬底(9)的衬底托盘以及与所述衬底托盘固定连接的托盘手柄(1)；所述衬底托盘包括两个对应分布的放片托(4)，在每个放片托(4)对应相邻的内侧均设置能与方片衬底(9)适配的放片槽(12)；通过两个放片托(4)上相对应的放片槽(12)形成能满足方片衬底(9)竖向放置的衬底竖向嵌置槽，两个放片托(4)间形成能收纳竖向放置的方片衬底(9)端角的端角收纳腔(6)。

2.根据权利要求1所述的多个方片式衬底用工艺夹具，其特征是：所述衬底托盘还包括托体第一挡块(2)以及托体第二挡块(5)，所述托体第一挡块(2)、托体第二挡块(5)分别位于放片托(4)的两端，且托体第一挡块(2)、托体第二挡块(5)分别与放片托(4)相应的端部固定，托盘手柄(1)与托体第二挡块(5)固定连接。

3.根据权利要求2所述的多个方片式衬底用工艺夹具，其特征是：所述托体第一挡块(2)、托体第二挡块(5)均通过连接螺丝(3)与对应的放片托(4)固定连接。

4.根据权利要求3所述的多个方片式衬底用工艺夹具，其特征是：在所述放片托(4)的端部均设置托体端槽(10)以及与所述托体端槽(10)连通的螺丝孔(11)，将托体第一挡块(2)、托体第二挡块(5)与放片托(4)固定的连接螺丝(3)能穿入相应的螺丝孔(11)内。

5.根据权利要求1所述的多个方片式衬底用工艺夹具，其特征是：所述托盘手柄(1)呈柱状，托盘手柄(1)与放片托(4)上端面所在的平面相互垂直。

6.根据权利要求1所述的多个方片式衬底用工艺夹具，其特征是：所述衬底包括硅衬底或玻璃衬底。

7.根据权利要求1所述的多个方片式衬底用工艺夹具，其特征是：放片托(4)上的多个放片槽(12)间相互平行，所述放片槽(12)包括位于放片托(4)上端面的端面槽体(7)、呈倾斜分布的斜面槽体(14)以及呈竖直分布的直槽体(15)，所述直槽体(15)通过斜面槽体(14)与端面槽体(7)相连通。

8.根据权利要求7所述的多个方片式衬底用工艺夹具，其特征是：所述端面槽体(7)、斜面槽体(14)以及直槽体(15)间具有相同的宽度；放片槽(12)的宽度为1±0.03mm，相邻放片槽(12)间的距离为4.5mm～5.5mm。

9.根据权利要求1所述的多个方片式衬底用工艺夹具，其特征是：还包括能放置工艺溶液的玻璃杯(8)，所述玻璃杯(8)能允许衬底托盘嵌置，以使得竖直放置的方片衬底(9)能浸没在玻璃杯(8)内的工艺溶液中。

10.根据权利要求1所述的多个方片式衬底用工艺夹具，其特征是：所述衬底托盘以及托盘手柄(1)采用特氟龙制成。