[实用新型]一种具有绝缘性的溅射炉夹具

权利要求书

1.一种具有绝缘性的溅射炉夹具，包括基板(11)、安装座(12)和连接件(3)，其特征在于：所述基板(11)顶端的两侧均安装有安装座(12)，且安装座(12)的顶端均设置有安装槽(17)，所述安装槽(17)的内侧均安装有固定杆(1)，所述安装座(12)的两侧内壁均设置有空腔(22)，所述固定杆(1)的顶端均安装有连接件(3)，且连接件(3)的两端之间均安装有第三连接轴(15)，所述第三连接轴(15)上方连接件(3)的两端之间均安装有第四连接轴(16)，且第四连接轴(16)的外壁均安装有移动件(8)，所述移动件(8)的一端均安装有第一连接轴(5)，且第一连接轴(5)的外壁均安装有夹持件(7)，所述第三连接轴(15)的一端安装有移动杆(9)，且移动杆(9)的顶端均设置有手柄(4)，所述手柄(4)的一端均通过第二连接轴(13)固定连接于移动件(8)的一端。

2.根据权利要求1所述的一种具有绝缘性的溅射炉夹具，其特征在于：所述空腔(22)的一侧内壁均安装有第二弹簧(21)，且第二弹簧(21)的一侧均安装有卡块(23)，所述固定杆(1)的两侧均设置有卡槽(18)，且卡块(23)的一侧均固定于卡槽(18)的内侧，并且卡槽(18)与卡块(23)均相互合作，构成固定结构。

3.根据权利要求2所述的一种具有绝缘性的溅射炉夹具，其特征在于：所述卡块(23)的顶端均安装有调节板(19)，且调节板(19)的顶端均贯穿限位孔延伸至安装座(12)的上方，并且调节板(19)的一侧均安装有第一弹簧(20)。

4.根据权利要求1所述的一种具有绝缘性的溅射炉夹具，其特征在于：所述固定杆(1)的外壁均设置有外螺纹(24)，且外螺纹(24)的外侧均安装有挡板(10)，所述挡板(10)的中间位置处均设置有通孔(26)，且通孔(26)的内壁均设置有内螺纹(25)。

5.根据权利要求4所述的一种具有绝缘性的溅射炉夹具，其特征在于：所述挡板(10)的上方和下方均设置有梯形槽(2)，且梯形槽(2)的开口均外小内大。

6.根据权利要求1所述的一种具有绝缘性的溅射炉夹具，其特征在于：所述夹持件(7)的顶端皆均匀设置有凸起(6)，且凸起(6)一侧夹持件(7)的顶端均设置有凹槽(14)。