[实用新型]一种具有绝缘性的溅射炉夹具

说明书

本实用新型公开了一种具有绝缘性的溅射炉夹具，包括基板、安装座和连接件，所述基板顶端的两侧均安装有安装座，且安装座的顶端均设置有安装槽，所述安装槽的内侧均安装有固定杆，所述第三连接轴上方连接件的两端之间均安装有第四连接轴，且第四连接轴的外壁均安装有移动件，所述移动件的一端均安装有第一连接轴，且第一连接轴的外壁均安装有夹持件，所述手柄的一端均通过第二连接轴固定连接于移动件的一端。本实用新型通过在夹持件的顶端皆均匀设置有凸起，且凸起一侧夹持件的顶端均设置有凹槽，通过在夹持件上表面增加凸起结构，能够阻挡镀膜脱落，从而避免浪费原材料、以及提高制程的精度，有利于降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及溅射炉夹具设备技术领域，具体为一种具有绝缘性的溅射炉夹具。

背景技术

溅射成膜是一种较为常见的金属成膜工艺，在实际应用中，通常可以利用溅射机来进行溅射成膜，溅射机包括一个腔体，腔体内一般包括腔体基座、基板夹具、阳极板和阴极靶材等，其中，在枚叶型或X型溅射机中，阳极板和阴极靶材相对设置，基板夹具固定于腔体基座上，可以将基板夹持固定于阳极板上方。

然而，随着溅射成膜的进行，基板夹具上也会沉积膜层，这会使得基板夹具的导电性增强，在基板夹具导电性增强到一定程度时，基板与带电的腔体基座就会导通，从而导致基板表面异常放电而烧毁基板表面的膜层。

而且现有的一种具有绝缘性的溅射炉夹具不具有绝缘、避免夹具镀膜脱落和便于拆卸安装夹具的功能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有绝缘性的溅射炉夹具，以解决上述背景技术中提出的现有的一种具有绝缘性的溅射炉夹具不具有绝缘、避免夹具镀膜脱落和便于拆卸安装夹具的功能问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有绝缘性的溅射炉夹具，包括基板、安装座和连接件，所述基板顶端的两侧均安装有安装座，且安装座的顶端均设置有安装槽，所述安装槽的内侧均安装有固定杆，所述安装座的两侧内壁均设置有空腔，所述固定杆的顶端均安装有连接件，且连接件的两端之间均安装有第三连接轴，所述第三连接轴上方连接件的两端之间均安装有第四连接轴，且第四连接轴的外壁均安装有移动件，所述移动件的一端均安装有第一连接轴，且第一连接轴的外壁均安装有夹持件，所述第三连接轴的一端安装有移动杆，且移动杆的顶端均设置有手柄，所述手柄的一端均通过第二连接轴固定连接于移动件的一端。

优选的，所述空腔的一侧内壁均安装有第二弹簧，且第二弹簧的一侧均安装有卡块，所述固定杆的两侧均设置有卡槽，且卡块的一侧均固定于卡槽的内侧，并且卡槽与卡块均相互合作，构成固定结构。

优选的，所述卡块的顶端均安装有调节板，且调节板的顶端均贯穿限位孔延伸至安装座的上方，并且调节板的一侧均安装有第一弹簧。

优选的，所述固定杆的外壁均设置有外螺纹，且外螺纹的外侧均安装有挡板，所述挡板的中间位置处均设置有通孔，且通孔的内壁均设置有内螺纹。

优选的，所述挡板的上方和下方均设置有梯形槽，且梯形槽的开口均外小内大。

优选的，所述夹持件的顶端皆均匀设置有凸起，且凸起一侧夹持件的顶端均设置有凹槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)、通过安装有调节板、卡块、空腔、固定杆、安装槽、第一弹簧、卡槽和第二弹簧，通过向一侧移动调节板，第一弹簧和第二弹簧被挤压变形，卡块向空腔内部移动，然后把固定杆放置在安装槽内固定，松掉调节板后，第一弹簧和第二弹簧复位，使卡块弹进卡槽内进行固定，实现对固定杆的安装，通过再一次向一侧移动调节板,卡块向空腔内侧移动后，即可取出固定杆进行拆卸。

(2)、同时装置通过安装有夹持件、凸起和凹槽，通过在夹持件上表面增加凸起和凹槽结构，能够阻挡镀膜脱落，从而避免浪费原材料、以及提高制程的精度，有利于降低生产成本。