[实用新型]红外单点测温模组及便携式测温装置有效
| 申请号： | 202020470132.1 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN212254373U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 黄立;高健飞;彭朵清;文逢员;孙阳;段宗胜 | 申请（专利权）人： | 武汉高芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/22 | 分类号： | G01J5/22;G01J5/02 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 胡建文 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 红外 单点 测温 模组 便携式 装置 | ||
1.一种红外单点测温模组，包括基座，其特征在于：还包括红外光学镜头、红外探测器和PCB板，所述红外光学镜头及所述PCB板均安设在所述基座上；
所述红外探测器为单像元探测器，包括像元衬底和MEMS像元，所述MEMS像元包括红外吸收桥面和桥腿，所述桥腿通过锚柱支撑于所述像元衬底上；
所述像元衬底固定于所述PCB板上，所述红外吸收桥面朝向所述红外光学镜头，从而在所述红外光学镜头与所述MEMS像元之间形成红外光路。
2.如权利要求1所述的红外单点测温模组，其特征在于：所述红外吸收桥面为氧化钒薄膜层。
3.如权利要求1所述的红外单点测温模组，其特征在于：所述桥腿与所述红外吸收桥面共面。
4.如权利要求1所述的红外单点测温模组，其特征在于：所述红外探测器还包括封装盖帽，所述封装盖帽盖合于所述像元衬底上并且围合形成真空腔，所述MEMS像元收容于所述真空腔内，所述封装盖帽朝向所述红外光学镜头。
5.如权利要求4所述的红外单点测温模组，其特征在于：所述像元衬底为硅晶圆衬底，所述封装盖帽为硅晶圆盖帽。
6.如权利要求4所述的红外单点测温模组，其特征在于：所述封装盖帽上镀有红外增透膜。
7.如权利要求4所述的红外单点测温模组，其特征在于：所述像元衬底上设有信号引出盘，所述信号引出盘与所述PCB板之间打金线连接。
8.如权利要求7所述的红外单点测温模组，其特征在于：所述像元衬底通过背部胶粘方式固定在所述PCB板上，所述信号引出盘设于所述像元衬底上并且位于所述封装盖帽的侧方。
9.如权利要求1所述的红外单点测温模组，其特征在于：所述红外光学镜头的镜片为平凸透镜并且采用硅晶圆镜片。
10.一种便携式测温装置，包括机体，其特征在于：所述机体内置有如权利要求1至9中任一项所述的红外单点测温模组，所述PCB板与所述机体的处理器电连接。
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