[实用新型]一种倒装LED晶圆化学镍金自动生产线

权利要求书

1.一种倒装LED晶圆化学镍金自动生产线，其特征在于，所述生产线包括：生产线的底座、于底座上由左到右依次设置深槽状可容装液体的除油槽、清洗槽、碱蚀槽、清洗槽、酸洗槽、初浸锌槽、退锌槽、再浸锌槽、清洗槽、化镍槽、清洗槽、化金槽、清洗槽、于底座后上方横设一导轨、安装于导轨上可沿导轨左右运动并能固定被加工工件进行上下运动的输送机械手、于底座的左右两侧分别设置上料小平台和下料小平台，于上料小平台设置便于放置装有批量倒装LED晶圆的中空框状LOT料盒；所述上料小平台左端安装有PLC控制器；PLC控制器电路连接控制输送机械手上的横向驱动电机及横向运动付、竖向驱动电机及竖向运动付、夹紧驱动电机及夹紧运动付；

——对应上述多个槽左右两端位置于导轨前后端分别安置对应的左限位接近开关和右限位接近开关、于导轨的固定体上设置使输送机械手在上述各槽位置定位停留的槽接近开关、于输送机械手上设置定位上、下料小平台位置的上位接近开关和下位接近开关；

所述批量装有倒装LED晶圆LOT料盒是一上下通透的矩形盒，长向是上宽下窄，在其长向两内侧各设有多个并列等距的带由上往下圆形浅凹槽的导槽组；

——进水和出水双向水泵和管路设于底座下部，通过管路分多路连接于上述各槽内；

——底座下部设有连接PLC控制器的前段温度监测加热控制器和后段温度监测加热控制器，前段温度电连接监测加热控制器连接并控制除油槽中内温度传感器及温度加热部件，后段温度电连接监测加热控制器连接并控制化镍槽、化金槽内的温度传感器及温度加热部件；

——于底座下部安装有液体成分综合分析仪，液体成分综合分析仪输出多路传感线路连通各槽内安插的成分分析及槽液PH值采样头。

2.根据权利要求1所述的倒装LED晶圆化学镍金自动生产线，其特征在于，所述输送机械手可以按照所述PLC控制器指令在竖向驱动电机及竖向运动付作用下进行垂直限位上下运动，上下速度独立可调。

3.根据权利要求1所述的倒装LED晶圆化学镍金自动生产线，其特征在于，所述输送机械手下端设有按照所述PLC控制器指令在夹紧驱动电机及夹紧运动付，其夹紧后的位置对应于LOT料盒外轮廓。