[实用新型]一种气控芯片拾取装置

权利要求书

1.一种气控芯片拾取装置，包括基座(100)、真空吸头(200)与升降驱动装置(400)，所述基座(100)上具有竖向通孔(103)，所述真空吸头(200)包括穿设于所述竖向通孔(103)中的导气杆(202)、和所述导气杆(202)伸出所述竖向通孔(103)外的底部相连的吸嘴(201)、和所述导气杆(202)伸出所述竖向通孔(103)外的顶部相连的吸气机构以及支撑于所述导气杆(202)与所述竖向通孔(103)之间的轴套，所述导气杆(202)能够在所述轴套中上下移动，其特征在于：所述导气杆(202)上还套设有能够使所述导气杆(202)在受压时向下移动，在压力消失后回弹上升的回弹机构，所述升降驱动装置(400)包括气缸(401)，所述气缸(401)包括活塞杆(405)，所述活塞杆(405)能够向下伸出并与所述真空吸头(200)相抵，进而驱动所述导气杆(202)向下移动。

2.按照权利要求1所述的气控芯片拾取装置，其特征在于：所述吸气机构包括连接于所述导气杆(202)顶部的连接头(207)与套设于所述连接头(207)上的连接块(208)，所述连接块(208)上设有吸气嘴(209)，所述连接头(207)上具有连通所述吸气嘴(209)与所述导气杆(202)的导气通道(211)，所述气缸(401)的活塞杆(405)在伸出时能够与所述连接头(207)的顶面相抵。

3.按照权利要求2所述的气控芯片拾取装置，其特征在于：所述回弹机构包括设于所述连接头(207)外壁上的环形凸缘(216)与支撑于所述环形凸缘(216)与轴套之间的弹簧(206)。

4.按照权利要求1所述的气控芯片拾取装置，其特征在于：所述轴套包括套设于导气杆(202)上的内套(204)，所述导气杆(202)能够不随所述内套(204)转动地在所述内套(204)中升降。

5.按照权利要求4所述的气控芯片拾取装置，其特征在于：所述导气杆(202)的外壁上设有沿轴向延伸的凹槽(217)，所述内套(204)的内壁上具有与所述凹槽(217)相对应的限位凸起(218)。

6.按照权利要求2所述的气控芯片拾取装置，其特征在于：所述升降驱动装置还包括光栅尺(402)与读数头(403)，所述光栅尺(402)设于所述连接块(208)的侧壁上，所述读数头(403)设于所述气缸(401)上并正对所述光栅尺(402)。

7.按照权利要求6所述的气控芯片拾取装置，其特征在于：连接块(208)面朝所述基座(100)的侧壁上设有沿竖向延伸的限位槽(221)，所述基座(100)上具有一端与所述基座(100)相连，另一端伸入限位槽(221)内的限位销(222)。