[实用新型]一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置

权利要求书

1.一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置，包括壳体和安装在壳体内的传动轴，其特征在于，还包括磁流体密封机构和冷却机构，所述壳体的内侧设置有磁流体密封机构，所述磁流体密封机构的内侧壁与所述传动轴的外侧壁连接，

所述磁流体密封机构的右侧设置有冷却腔，所述冷却机构包括壳体冷却管、三个旋转密封和轴冷却管，所述壳体外侧壁上设置有进液口和出液口，所述进液口和出液口分别与所述壳体冷却管的两端连通，

所述壳体冷却管从所述壳体的左侧经过所述冷却腔的外侧壁向右侧延伸，

所述旋转密封依次间隔设置在所述磁流体密封机构的左侧，所述旋转密封之间构成流动腔，所述流动腔包括进液腔和出液腔，所述传动轴内设置有向右侧延伸的轴冷却管，所述轴冷却管的两端分别与所述进液腔和出液腔连通，所述进液腔和出液腔分别与所述进液口和出液口连通，传动轴两端分别设置有连接机构。

2.根据权利要求1所述的耐高温磁流体密封传动装置，其特征在于，所述轴冷却管进液的一段靠近所述传动轴外侧壁，所述轴冷却管出液的一段靠近所述传动轴的轴线。

3.根据权利要求1所述的耐高温磁流体密封传动装置，其特征在于，还包括液冷循环机，所述液冷循环机的出液端与所述进液口连接，所述液冷循环机的回液端与所述出液口连接。

4.根据权利要求1所述的耐高温磁流体密封传动装置，其特征在于，所述轴冷却管和壳体冷却管靠近所述冷却腔或磁流体密封机构的一段呈螺旋状。

5.根据权利要求1所述的耐高温磁流体密封传动装置，其特征在于，所述磁流体密封机构包括永磁体、极靴和轴承，所述永磁体安装在所述壳体的内侧壁上，所述永磁体两端分别设有极靴，所述极靴的外端设置有轴承，所述轴承的外环与所述壳体内侧壁连接，所述轴承的内环安装在所述传动轴的外侧壁上，所述传动轴外侧壁在贴近所述极靴的一侧设置有磁液槽，所述磁液槽上设有磁流体。

6.根据权利要求1所述的耐高温磁流体密封传动装置，其特征在于，所述壳体一端的端面上设置有密封垫圈。

7.根据权利要求1所述的耐高温磁流体密封传动装置，其特征在于，所述连接机构包括设置在所述传动轴的一端的连接槽。

8.根据权利要求7所述的耐高温磁流体密封传动装置，其特征在于，所述连接槽内设有隔热垫。

9.根据权利要求1所述的耐高温磁流体密封传动装置，其特征在于，所述壳体的外侧壁的右侧设有环状突缘，所述环状突缘上设置有安装孔。