[实用新型]一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置

说明书

本实用新型提供一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置，包括壳体、安装在壳体内的传动轴、磁流体密封机构和冷却机构，磁流体密封机构的右侧设置有冷却腔，所述冷却机构包括壳体冷却管、三个旋转密封和轴冷却管，壳体右端通过连接机构安装在真空腔上，传动轴两端分别通过连接机构与真空腔的从动轴和外部驱动轴连接，磁流体密封机构用于密封传动轴，便于保持真空腔内的真空度，壳体冷却管通过壳体降温或保温，轴冷却管用于传动轴的冷却和保温，防止高温对磁流体密封机构造成影响，保证磁流体密封机构正常工作，冷却腔用于对磁流体密封机构右侧的气体或壳体进行预冷，以提高磁流体密封机构的冷却效果或保温效果。

技术领域

本实用新型涉及磁流体密封传动装置的领域，尤其涉及一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置。

背景技术

离子束刻蚀也称为离子铣，通过定向高能离子向固体靶撞击时，能量从入射离子转移到固体表面原子上，当固体表面原子间结合能低于入射离子能量时，固体表面原子就会被移开或从表面上被除掉。离子束刻蚀装置已代替湿法腐蚀，广泛应用到工业生产和加工的领域。离子束通常需要在较高的真空度条件下才能被激发，因此通常通过密封传动装置将大气端的外部驱动力传递到离子束刻蚀装置内。

磁流体密封传动装置，由于使用寿命长、没有机构磨损、适用真空度高等性能，已广泛应用于旋转密封的场合。磁流体既具有液体的流动性，以具有固体磁性材料的磁性，在离子束刻蚀等需要在高温或低温环境，会影响磁流体的流动性和磁性，对磁流体密封装置产生非常大的影响。

发明内容

为解决上述技术问题，提供一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置，使磁流体密封机构保持在正常工作温度下。

一种用于离子束刻蚀的耐高温磁流体密封传动装置，包括壳体和安装在壳体内的传动轴，还包括磁流体密封机构和冷却机构，所述壳体的内侧设置有磁流体密封机构，所述磁流体密封机构的内侧壁与所述传动轴的外侧壁连接，所述磁流体密封机构的右侧设置有冷却腔，所述冷却机构包括壳体冷却管、三个旋转密封和轴冷却管，所述壳体外侧壁上设置有进液口和出液口，所述进液口和出液口分别与所述壳体冷却管的两端连通，所述壳体冷却管从所述壳体的左侧经过所述冷却腔的外侧壁向右侧延伸，所述旋转密封依次间隔设置在所述磁流体密封机构的左侧，所述旋转密封之间构成流动腔，所述流动腔包括进液腔和出液腔，所述传动轴内设置有向右侧延伸的轴冷却管，所述轴冷却管的两端分别与所述进液腔和出液腔连通，所述进液腔和出液腔分别与所述进液口和出液口连通，传动轴两端分别设置有连接机构。

优选的，所述轴冷却管进液的一段靠近所述传动轴外侧壁，所述轴冷却管出液的一段靠近所述传动轴的轴线。

优选的，本实用新型还包括液冷循环机，所述液冷循环机的出液端与所述进液口连接，所述液冷循环机的回液端与所述出液口连接。

优选的，所述轴冷却管和壳体冷却管靠近所述冷却腔或磁流体密封机构的一段呈螺旋状。

优选的，所述磁流体密封机构包括永磁体、极靴和轴承，所述永磁体安装在所述壳体的内侧壁上，所述永磁体两端分别设有极靴，所述极靴的外端设置有轴承，所述轴承的外环与所述壳体内侧壁连接，所述轴承的内环安装在所述传动轴的外侧壁上，所述传动轴外侧壁在贴近所述极靴的一侧设置有磁液槽，所述磁液槽上设有磁流体。

优选的，所述壳体一端的端面上设置有密封垫圈。

优选的，所述连接机构包括设置在所述传动轴的一端的连接槽。

优选的，所述连接槽内设有隔热垫。

优选的，所述壳体的外侧壁的右侧设有环状突缘，所述环状突缘上设置有安装孔。