[实用新型]一种拆装式探针卡有效
申请号: | 202020481305.X | 申请日: | 2020-04-05 |
公开(公告)号: | CN212031563U | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 赵梁玉;于海超 | 申请(专利权)人: | 强一半导体(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 拆装 探针 | ||
1.一种拆装式探针卡,其特征在于:包括卡盘(1)和方形探针卡本体(4),所述卡盘(1)的一侧开设有若干沉孔(2),所述卡盘(1)的一侧中间位置开设有第一方形孔(3),所述方形探针卡本体(4)位于第一方形孔(3)内,所述方形探针卡本体(4)的两侧均设有夹板(5),所述夹板(5)与方形探针卡本体(4)相接触,两个所述夹板(5)相靠近的一侧均设有两个侧板(6),且相邻的两个所述侧板(6)位于方形探针卡本体(4)的两侧,两个所述夹板(5)相远离的一侧与第一方形孔(3)的内壁通过若干第一弹簧(7)连接,所述第一方形孔(3)的两侧内壁对称开设有若干第一滑槽(8),所述夹板(5)的两侧固定连接有第一滑块(9),所述第一滑块(9)位于第一滑槽(8)内,所述第一滑槽(8)与第一滑块(9)之间设有限位机构。
2.根据权利要求1所述的一种拆装式探针卡,其特征在于:所述限位机构包括开设于第一滑块(9)一侧的通孔(10),所述通孔(10)内设有限位柱(11),所述第一滑槽(8)的一侧内壁开设有第二滑槽(12)和卡槽(13),所述第一滑槽(8)远离第二滑槽(12)的一侧内壁开设有第二方形孔(14),所述限位柱(11)的一端延伸至第二滑槽(12)内,所述限位柱(11)的另一端延伸至第二方形孔(14)内,所述夹板(5)的一侧设有连接杆(15),且所述限位柱(11)的一端与连接杆(15)固定连接,所述限位柱(11)与第一滑块(9)之间设有弹性机构。
3.根据权利要求2所述的一种拆装式探针卡,其特征在于:所述弹性机构包括开设于通孔(10)两侧内壁的第三滑槽(16),所述第三滑槽(16)内设有第二滑块(17),所述第二滑块(17)与限位柱(11)固定连接,所述第二滑块(17)靠近第二滑槽(12)的一侧与第三滑槽(16)的内壁通过第二弹簧(18)连接。
4.根据权利要求1所述的一种拆装式探针卡,其特征在于:所述第一方形孔(3)的两侧内壁固定连接有第一橡胶弹性层(19),且所述第一橡胶弹性层(19)与方形探针卡本体(4)相接触,相邻两个所述侧板(6)相靠近的一侧均固定连接有第二橡胶弹性层(20),且所述第二橡胶弹性层(20)与方形探针卡本体(4)相接触。
5.根据权利要求1所述的一种拆装式探针卡,其特征在于:所述沉孔(2)设置的数目为四个。
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